LA97-MT85
Vacuum / Cleanroom Multi Axes Systems
782457:001.26
A three axes magnet free stage system. Strokes are at 200 mm for x and each 10 mm for y and z (vertical). The piezo motors used are a custom design and give the manipulator the ability to move loads of up to 2,5 kg with very high resolution. Outstanding stability in nm range is the main advantage of this system.
Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!
Laden Sie unseren Produktkatalog herunter:
Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?
Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten: