PiezoLEGS® Motor
Piezomotoren überzeugen allgemein durch ihre sehr hohe Auflösung im Nanometerbereich.
PiezoLEGS® Motoren bieten zusätzlich eine hohe Steifigkeit. Sie sind selbsthaltend und weisen eine extreme Stabilität auf. Realisieren lassen sich nur geringe Geschwindigkeiten, jedoch mit sehr hohen Kräften. Der Motor benötigt nicht zwingend ein Messsystem und kann bei Bedarf auch open loop betrieben werden. Im Gegensatz zu anderen Piezomotoren kann dieser Motor nur bedingt in Vakuum eingesetzt werden.