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Spulensystem für Dreh-Hub-Antrieb()

Ein direktgetriebener Drehtisch ist mit jeder Menge Magneten ausgestattet. Die Idee bei diesem Entwurf war es, das ohnehin vorhandene Magnetsystem ebenso für eine Hubbewegung zu nutzen. Dies lässt sich, wenn auch mit Kompromissen, realisieren. So ist das System für das Ausrichten und Ausheben eines Wafers ausreichend.

Z-Phi Dreh-Hub-Aktuator mit integrierter Steuerung (Reinraum ISO 8) |....

Linear- und Rotationsbewegungen präzise kombiniert Mit diesem Z-Phi-Positionierer können präzise Linear- und Rotationsbewegungen hochkompakt kombiniert werden. Die Bewegung kann entweder synchron zueinander oder völlig unabhängig voneinander programmiert werden. Der Motion Controller mit Feld-Bus-Schnittstelle ist Plug-and-Play-fähig und befindet sich direkt in der Positioniereinheit. Der Aktuator lässt sich leicht mit weiteren Dreh-, Nivellier und Linearachsen für anspruchsvolle Aufgaben kombinieren. Plug-and-Play-fähig und wartungsarm Ideal für die automatisierte Reinraumproduktion z.B. justieren, eindrehen, stapeln, abfüllen und verschließen Synchronisierte oder unabhängige lineare und rotierende Bewegungen bis 14 mm x 360° (Verfahrwege erweiterbar) Einbindung von über 64 Aktuatoren an einem Bussystem Voll kontrollierte Ansteuerung der gesamten Bewegung Lange Lebensdauer und schnelle Wartung durch die Plug-and-Play-Fähigkeit Optionen: Kundenspezifische Software- und Elektronikmodule z.B. Selbstdiagnose, Fernwartung, Fehlerkompensation Modulare Kombination mit Linear- oder Drehtischen z.B. DT240 Individueller Systemaufbau, Schwingungsisolierung, Sicherheitkonzept Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Ausführung für den kraftgesteuerten Betrieb Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Automatisierte Reinraum-Assembly, Bestückung von elektronischen Komponenten / Sensoren, Ausrichten, Justage, Abfüllen, Verschließprozesse, Flexibilisierung für die Verpackungs- und Pharmaindustrie

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die....

Hochpräzise automatisierte Montage von miniaturisierten Komponenten Dieser industrietaugliche Dreh-Hub-Aktor mit integrierter Steuerung erlaubt eine feinfühlige als auch sehr schnelle kombinierte Dreh- und Linearbewegung. Er eignet sich insbesondere für automatisierte und wartungsarme Pick-and-Place-Montagesysteme. Der Dreh-Hub ermöglicht die Entnahme der zu positionierenden Komponente aus der automatischen Magazin-Zuführung, Erfassung in der Lage und ggf. Korrektur und Positionierung mit kontrollierter Andruckkraft. Die interne Steuerung mit Feld-Bus-Schnittstelle ist Plug-and-Play-fähig und befindet sich direkt in der Positioniereinheit. Zusätzlich erlaubt diese eine interne Speicherung der Fehlerinformation für eine automatische Kompensation. Ebenfalls ist ein Konzept für die Fernwartung und Ferndiagnose integriert. Integrierte Fehlerkompensation, Fernwartung und -service Ideal für die automatisierte 24/7-Produktion in Reinraumumgebung z.B. Micro-Leiterplattenbestückung Schnelle, feinfühlige Vertikalbewegung durch den elektrischen Direktantrieb Voll kontrollierte Ansteuerung der gesamten Bewegung für eine gleichbleibend hohe Produktqualität Industrietaugliche Ausführung: robust, rundum geschlossen, emissionsarme Ausführung für Reinraumprozesse Wartungsarm mit außergewöhnlich hoher Lebensdauer durch integrierte Vakuumdurchleitung und interner Diagnosefunktion Weltweite Fernwartung, Diagnose, Updates, Programmierung oder Parametrierung durch Anbindung via EtherCAT oder CAN Besonderheiten: Interne Steuerung mit Feld-Bus-Schnittstelle: EtherCAT, CAN Einbindung von über 64 Aktoren an ein Bussystem Überwachung kundenspezifischer Parameter für Selbstdiagnose und Fehlerkompensation Schnelle Wartung durch Plug-and-Play-fähige integrierte Steuerung Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Optional als Ausführung für den kraftgesteuerten Betrieb Integrierte Steuerung auf kleinstem Raum Die gesamte embedded Control-Elektronik in einem Umfang von zwei 19-Zoll-Racks ist auf einer einzigen Leiterplatte untergebracht. Der Gerätestatus kann durch Streaming oder Polling an den Steuerrechner zurückgemeldet werden. Die Fehlerinformation ist intern gespeichert und wird durch den Motion Controller beim Ansteuern mit beachtet. Im Servicefall bietet die Plug-and-Play-Fähigkeit einen schnellen, unkomplizierten Austausch. Die Integration der Steuerung in die Positioniereinheit ermöglicht zudem das Überwachen bestimmter Parameter – wie maximale Geschwindigkeit beim Initialisieren (Selbstdiagnose) oder Schleppfehler im Betrieb, sodass durch rechtzeitiges Eingreifen Maschinenstillstandzeiten vermieden werden können. Hilfreich sind außerdem Funktionen wie ein Betriebsstundenzähler und ein nicht verlöschender Fehlerspeicher. Durch die Anbindung via EtherCAT oder CAN können Updates mit Verbesserungen in der Programmierung oder Parametrierung weltweit problemlos eingespielt werden. Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Automatisierte Montageanlagen für Leiterplattenmontage mit Fügemodulen, Bestückung von elektronischen Komponenten / Sensoren, Ausrichten von optischen Komponenten, Kameras, Autonome Fahrsysteme, Sensoren, Mobiltelefone, Elektronische Geräte, Herzschrittmacher, Insulinpumpe, Dreh Hub Aktor / Aktuator

Nanovac()

Das ist der Entwurf einer Serie kleiner, einfacher Tische mit Nanomotion- oder auch PiezoMotor-Antrieb.

Zeitreise Innovationen

2016 Integrierte, miniaturisierte Baugruppen Weiterentwicklung von kundenspezifischen Steuerungs- und Softwarelösungen (z.B. Elektronikdesign, Firmware, etc.) für integrierte, miniaturisierte Baugruppen - Hub-Dreh-Aktor (2016) - Versteller (2017) - Softwareterminal (2021) Weiterführend Links (intern): Positionersysteme Justage, Montage und Test Weiterführende Links (extern):

XYZ Stahl Aligner(782300:087.26)

UHV / DUV / EUV, Reinraum ISO 6, Hub 5 x 10 x 5 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.5 kg Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV, Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Optional mit Controller Transfer mit Submikometerschrittweiten auf kleinsten Bauraum Diese Baugruppe basiert auf einem Mikrotisch MT53 mit Piezoantrieb. Zwei dieser Tische bilden den ZX-Antrieb. Getrennt davon ist im gleichen Rohr der Y-Antrieb untergebracht. Der Aufbau erlaubt damit einen hochkompakte Positionierung von Probem unter extremer Strahlung im enorm gerrringen Bauraum. Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich auf sehr begrenzten Bauraum ermöglicht. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, 3-Achs-Strahljustage, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Materialforschung, Materialanalyse, Synchrotron, Miniaturisierung

Entwicklung

Wir entwickeln Baugruppen entsprechend Ihren Anforderungen. Das gilt nicht nur für die Wahl von Antrieb, Führung und Messsystem, sondern auch für die Durchführung als Projekt. Jede Entwicklung hat andere Anforderungen und Rahmenbedingungen und jeder Kunde bringt seine Erfahrungen mit. Entsprechend passen wir auch die Organisation und den Umfang des Projektes an.

Optische & aktive Ausrichtung

Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment) Klassische Positioniersysteme bewegen sich bekanntermaßen in X-, Y- und Z- Richtung mit einem Antrieb pro Achse. Wenn es darum geht, noch mehr Freiheitsgrade auf engstem Bauraum mit kleinen Verfahrwegen hochgenau zu verstellen, führt meist kein Weg an parallelkinematischen Konzepten vorbei. Wir entwickeln für Ihre Anwendung maßgeschneiderte parallelkinematische Positioniersysteme für die aktive Ausrichtung und Montage von Optiken z.B. Justage, Montage und Positionierung von Linsen in Kameras, CCD-Sensoren, Faser-Positionierung, Ausrichtung von Siliziumphotonik-Strukturen zum Wafer Test, MEMS-Prober und viele weitere Montage- und Inspektionsaufgaben unter anspruchsvollen Umgebungsbedingungen in hochkompakter Ausführung mit Submikrometer-Präzision. EUV know-how Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit bis 10 Mio. Zyklen Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit 5 Nanometer Und noch höhere Präzision für sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche Senden Sie uns online Ihre Anforderungen Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse Reinraumsysteme bis ISO Klasse 1 Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 1. Mehr zur Serienentwicklung Vakuum-Standardachsen bis 10-12 Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand. Zu den Vakuum-Standardachsen Individuelle Lebensdauertestss Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors. Mehr zu Test und Messung Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung? Francisco Samuel Beratung & Projektmanagement T +49 (0) 351 88585-85 E-Mail Unsere Referenzen

7859_004_26_KGT II Prüfstand

7859_004_26_KGT II Prüfstand « Testsysteme Ein Prüfling wird eingelegt, dann wird mit dem fest eingebauten Kugelgewindetrieb der Schlitten langsam gegen den Prüfling geschoben. Der Antrieb des Prüflings steht dabei still. Sobald der Prüfling vom Schlitten belastet wird, spannen sich die im Schlitten befindlichen Tellerfedern und es steigt die Kraft auf den Prüfling. Die Kraft wird von zwei Sensoren erfasst und bis zum gewünschten Wert gesteigert. Durch diese Art „weicher“ Vorspannung ist keine Regelung der Kraft notwendig. Es genügt, die jetzt vorhandene Verspannung von Lastantrieb und Prüfling über synchronisiertes Verfahren aufrecht zu halten und die Kraft dabei lediglich zu überwachen. Beide Antriebe werden von einem Regler synchronisiert. So ist der Test von unterschiedlichen Steigungen über lange Verfahrwege und bei verschiedenen Geschwindigkeiten möglich. Im Prüflingsantrieb ist ein Momentensensor verbaut. So lässt sich das Antriebsmoment der Last zuordnen und damit der Wirkungsgrad errechnen. Dabei muss beachtet werden, dass der Momentensensor ebenfalls das Drehzahl und lastabhängige Widerstandsmoment des Prüfling-Spindellagers misst. Diese Kalibriermessung des Spindellagers erfolgt unter Last bei Testdrehzahl mit einem Kalibriereinsatz, welcher ein weiteres Paar der Spindellager im Prüflingsantrieb enthält. Der so gemessene Momentenwert ist also das doppelte des einzelnen Lagerpaares in diesem Antrieb, ist damit bekannt und wird in der Auswertesoftware vom gemessenen Widerstandsmoment abgezogen. Eine Software stellt den Wirkungsgrad über den Verfahrweg dar.

7859_004_26_KGT II Prüfstand - 7859_004_26_KGT II Prüfstand

7859_004_26_KGT II Prüfstand « Testsysteme Ein Prüfling wird eingelegt, dann wird mit dem fest eingebauten Kugelgewindetrieb der Schlitten langsam gegen den Prüfling geschoben. Der Antrieb des Prüflings steht dabei still. Sobald der Prüfling vom Schlitten belastet wird, spannen sich die im Schlitten befindlichen Tellerfedern und es steigt die Kraft auf den Prüfling. Die Kraft wird von zwei Sensoren erfasst und bis zum gewünschten Wert gesteigert. Durch diese Art „weicher“ Vorspannung ist keine Regelung der Kraft notwendig. Es genügt, die jetzt vorhandene Verspannung von Lastantrieb und Prüfling über synchronisiertes Verfahren aufrecht zu halten und die Kraft dabei lediglich zu überwachen. Beide Antriebe werden von einem Regler synchronisiert. So ist der Test von unterschiedlichen Steigungen über lange Verfahrwege und bei verschiedenen Geschwindigkeiten möglich. Im Prüflingsantrieb ist ein Momentensensor verbaut. So lässt sich das Antriebsmoment der Last zuordnen und damit der Wirkungsgrad errechnen. Dabei muss beachtet werden, dass der Momentensensor ebenfalls das Drehzahl und lastabhängige Widerstandsmoment des Prüfling-Spindellagers misst. Diese Kalibriermessung des Spindellagers erfolgt unter Last bei Testdrehzahl mit einem Kalibriereinsatz, welcher ein weiteres Paar der Spindellager im Prüflingsantrieb enthält. Der so gemessene Momentenwert ist also das doppelte des einzelnen Lagerpaares in diesem Antrieb, ist damit bekannt und wird in der Auswertesoftware vom gemessenen Widerstandsmoment abgezogen. Eine Software stellt den Wirkungsgrad über den Verfahrweg dar.

Messgerät für Steigungsfehler bei Gewindetrieben(789595:006.26)

Dieses Gerät misst den Steigungsfehler von Kugelgewindetrieben im eingebauten Zustand. Ein Glasmaßstab garantiert einen minimalen zyklischen Fehler des Messsystems. Über eine Software und einen hochauflösenden Messring am Antrieb entstehen Wertepaare, welche den Steigungsfehler über die Gesamtlänge als Diagramm zeigen.

Handling-System für organische LEDs(782422:001.26)

Aus Platzgründen sind zwei Rahmen ineinandergeschachtelt und seitlich auf Drehantrieben montiert, wobei die Antriebe für die Rahmen stationär außerhalb der Drehantriebe im Grundgestell befestigt sind. Umlaufende Seile werden aufgewickelt und ergeben jeweils das Bild, als ob sich nur ein Antrieb bewegt oder beide eine X- oder Y-Bewegung.

HT240-SM

HT240-SM Ideal für hohe Lasten Für Bewegungen in vertikale Richtung bietet Steinmeyer Mechatronik mit dem HT240 ein Produkt, das speziell für hohe Lasten ausgelegt ist und gleichzeitig hervorragende Auflösungswerte aufweist. Dank seines robusten, industrietauglichen Designs ist er partikel- und staubgeschützt und lässt sich für Schwerlastanwendungen im industriellen Umfeld einsetzen. Einfach kombinierbar Der HT240 ist mit Schrittmotor oder AC-Motor ausgestattet und verfährt mit einem Hub von bis zu 25 mm. Dank unserer modularen Achssysteme lässt er sich problemlos mit passendem Dreh- oder Lineartischen der PLT-Serie zu komplexen Mehrachssystemen kombinieren. Geeignet für industrielle Anwendungen Der HT240 wird vornehmlich dort eingesetzt, wo hohe Lasten exakt positioniert werden – im Sonder- und Präzisionsmaschinenbau, in der Lasertechnik, der Automatisierungsindustrie sowie der Messtechnik.

HT240-AC

HT240-AC Ideal für hohe Lasten Für Bewegungen in vertikale Richtung bietet Steinmeyer Mechatronik mit dem HT240 ein Produkt, das speziell für hohe Lasten ausgelegt ist und gleichzeitig hervorragende Auflösungswerte aufweist. Dank seines robusten, industrietauglichen Designs ist er partikel- und staubgeschützt und lässt sich für Schwerlastanwendungen im industriellen Umfeld einsetzen. Einfach kombinierbar Der HT240 ist mit einem Schrittmotor oder AC-Motor ausgestattet und verfährt mit einem Hub von bis zu 25 mm. Dank unserer modularen Achssysteme lässt er sich problemlos mit passendem Dreh- oder Lineartischen der PLT-Serie zu komplexen Mehrachssystemen kombinieren. Geeignet für industrielle Anwendungen Der HT240 wird vornehmlich dort eingesetzt, wo hohe Lasten exakt positioniert werden – im Sonder- und Präzisionsmaschinenbau, in der Lasertechnik, der Automatisierungsindustrie sowie der Messtechnik.

PLT320-SM

PLT320-SM Genauigkeiten im Mikroschrittbetrieb Mit einer Breite von 320 mm ist der PLT320-SM die größte Variante innerhalb der PLT-Serie. Mit einem Schrittmotor als Antrieb ermöglicht der PLT320-SM eine präzise Ansteuerung im Mikrometerbereich. Vielseitig kombinierbar Er lässt sich einfach mit weiteren Lineartischen zu komplexen Mehrachssystemen kombinieren. Durch seine Selbsthaltekraft, in Kombination mit einer elektromagnetischen Bremse, überzeugt der PLT320-SM sowohl in horizontalen als auch in vertikalen Anwendungen. Universell einsetzbar Applikationsübergreifend findet der PLT320 Einsatz in industriellen Umgebungen, welche in der Lasertchnik, Halbleitertechnik oder im Sondermaschinenbau gefordert werden. Zudem garantiert der Lineartisch Zuverlässigkeit und eine lange Lebensdauer.

XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY....

Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus zwei Lineartischen PLT320 (X- und Y-Achse), einem Hubtisch HT160 (Z-Achse) und einem Drehtisch DT200 (Phi-Achse) und ist geschlossen und partikelarm aufgebaut. Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004° Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung Optionen: Verschiedene, hochauflösende Messsysteme Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe Anwendungsfelder Partikelarme XYZ-R Linear-Hub-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

MT130-DC

MT130-DC Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht. Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm) Wiederholgenauigkeit bis 0.7 µm Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen Optionen: Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3 Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130 Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

MT130-SM

MT130-SM Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht. Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm) Wiederholgenauigkeit bis 2.3 µm Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen Optionen: Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3 Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130 Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

PLT240-AC

PLT240-AC Präziser Lineartisch Der PLT240-AC bietet mit einem AC-Motor einen leistungsstarken Antrieb in Kombination mit einem hochgenauen Kugelgewindetrieb. Gleichzeitig garantiert der AC-Motor eine leichte Anbindung an marktübliche Industriesteuerungen. Einfach zu kombinieren Der Lineartisch ist mit seiner Breite von 240 mm der ideale Tisch für Mehrachssysteme. Er kann beispielsweise als XY-System in Kombination mit dem Drehtisch DT240 oder dem Hubtisch HT240 vielseitig eingesetzt werden. Entwickelt für Industrieumgebungen Das Design der PLT-Serie folgt in Form und Funktion den Anforderungen hinsichtlich Partikel- und Staubschutz sowie Lebensdauer und Verfügbarkeit, welche in industriellen Umgebungen gegeben sind - ob in der Laser- und Halbleitertechnik oder im Sondermaschinenbau, der PLT240-AC ist diesen Herausforderungen gewachsen.

MT95-SM

MT95-SM Kompakter Positionierer mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch MT95 erreicht mit Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb wird mit einem Zahnriemengetriebe umgelenkt und kann so vollständig im Positioniertisch untergebracht werden. Ideal für kleine Bauräume (95 x 95 x 40 mm) Wiederholgenauigkeit bis 2.1 µm Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen Optionen: Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP95-3 Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Inkubatoren, Faserpositionierung, Kamera- und Mikroskop-Positionierer, Aligner für Vakuum-Kammern, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Prober Justage

MT95-DC

MT95-DC Kompakter Positionierer mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch MT95 erreicht mit Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb wird mit einem Zahnriemengetriebe umgelenkt und kann so vollständig im Positioniertisch untergebracht werden. Ideal für kleine Bauräume (95 x 95 x 40 mm) Wiederholgenauigkeit bis 1.5 µm Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen Optionen: Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP95-3 Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Inkubatoren, Faserpositionierung, Kamera- und Mikroskop-Positionierer, Aligner für Vakuum-Kammern, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Prober Justage

XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle,....

Modulares, reinraumtaugliches 3-Achs-System Dieses Positioniersystem besteht aus der XY-Stage KT470 auf einer Granitstruktur mit manueller Z-Vertikaleinheit. Diese Kombination eignet sich für den flexiblen und modularen Aufbau von Produktionsanlagen / Inline-Prozessen und kann wahlweise mit Dreh- oder motorisierten Z-Achsen erweitert werden. Ideal für flexiblen den Auf- und Ausbau von Reinraumanwendungen Halterung für wechselbare Prozessköpfe (Mikroskop, Sensor, ...) Flexible Wartung durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur Optionen: Erweiterbare Verfahrwege XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung der Z-Achse Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, etc. Kundenspezifische Entwicklung mi 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Anwendungsfelder Positionierung von Mikroskopen mit Probenzuführung, Inspektion bis Reinraum ISO 6 bis 12 inch / 300 x 300 mm, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, Probecards und Leiterplatten, Qualitätssicherung, Mikroskopie im Reinraum, Oberflächenprüfung, Wafer Inspektion

PLT165-SM

PLT165-SM Präzisionstisch mit Schrittmotor Der PLT165-SM nutzt als Antrieb einen leicht anzusteuernden Schrittmotor in Kombination mit einem hochpräzisen Kugelgewindetrieb. Mit seiner schmalen Bauform ist der Lineartisch für den Einsatz in kleinen Bauräumen geeignet. Ideal für vertikale Anwendungen Sein schützendes Gehäuse erlaubt den Gebrauch in industriellen Umgebungsbedingungen. Der Spindelantrieb garantiert in Kombination mit einer Spindelbremse optimale Selbsthaltung, sodass im stromlosen Zustand eine vertikale Position gehalten werden kann. Er lässt sich ideal mit dem Hubtisch HT160 kombinieren. Universell einsetzbar Der PLT165-SM eignet sich Positionierung von Sensoren oder Optiken in Applikationen mit hohem Anspruch an Lebensdauer und Zuverlässigkeit - beispielsweise in der Laser- oder Messtechnik.

PLT165-AC

PLT165-AC Präzisionstisch für industrielle Umgebungen Der PLT165-AC nutzt einen leistungsstarken AC-Servomotor als Antrieb für seinen Präzisionskugelgewindetrieb. Ein optimales Linearmesssystem sorgt für hohe Präzision und sehr gute Genauigkeit sowie Reproduzierbarkeit. Vertikale und horizontale Anwendungen Mit einer Breite von 165 mm ist dieser Tisch ideal für alle Sondermaschinen mit geringem Bauraum. Durch seine Antriebsbedingte Selbsthaltekraft, auch in Kombination mit einer magnetischen Bremse, überzeugt der PLT165-AC sowohl in horizontalen als auch in vertikalen Anwendungen. Hohe Tragkraft Der PLT165 mit AC-Motor ist speziell für industrielle Anwendungen konzipiert - ob als Positioniereinheit für Laseroptiken, Sensoriken oder zur Bauteilzuführung. Er eignet sich für den alltäglichen Einsatz in Industrieumgebungen und bietet eine hohe Lebensdauer.

Optische & aktive Ausrichtung - Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment)

Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment) Klassische Positioniersysteme bewegen sich bekanntermaßen in X-, Y- und Z- Richtung mit einem Antrieb pro Achse. Wenn es darum geht, noch mehr Freiheitsgrade auf engstem Bauraum mit kleinen Verfahrwegen hochgenau zu verstellen, führt meist kein Weg an parallelkinematischen Konzepten vorbei. Wir entwickeln für Ihre Anwendung maßgeschneiderte parallelkinematische Positioniersysteme für die aktive Ausrichtung und Montage von Optiken z.B. Justage, Montage und Positionierung von Linsen in Kameras, CCD-Sensoren, Faser-Positionierung, Ausrichtung von Siliziumphotonik-Strukturen zum Wafer Test, MEMS-Prober und viele weitere Montage- und Inspektionsaufgaben unter anspruchsvollen Umgebungsbedingungen in hochkompakter Ausführung mit Submikrometer-Präzision.

MT130(782327:084.26)

EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage) Vakuum: alle Bereiche HV / UHV Strahlung: EUV, DUV, UV Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3 Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130 Verfahrwege bis 80 mm Hochauflösendes Messsystem EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Kompakte EUV Linearachse mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht. Zudem verfügt das Positioniersystem über eine Permanent-Magnetbremse. Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm ....

Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion Dieses Insspektionssystem besteht aus der XY-Stage KT470 auf einer Granitstruktur mit manueller Z-Vertikaleinheit . Diese Kombination eignet sich für den flexiblen und modularen Aufbau von Produktionsanlagen / Inline-Prozessen für Reinräume und kann wahlweise mit Dreh- oder motorisierten Z-Achsen erweitert werden. Ideal für flexible Inspektionsprozesse von Wafern bis 12 inch / 300 mm Halterung für wechselbare Prozessköpfe (Mikroskop, Sensor, ...) Verschiedene Scanbereiche und manuelle Höhenverstellung (wahlweise motorisiert mit Motion Controller) Wartungsarm bei 24/7-Produktion bis Reinraumklasse ISO 6 (höher auf Anfrage) Optionen: Erweiterbare Verfahrwege XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung zusätzlicher (motorisierter) Z-Achsen Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfern Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) Individueller Aufbau mit Gestell, Umhausung oder Einbindung in die Fab Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Anwendungsfelder Wafer Inspektion bis Reinraum ISO 6 (Probengröße bis 12 inch / 300 x 300 mm), Wafer Vermessung, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, Probecards und Leiterplatten, Qualitätssicherung, Mikroskopie im Reinraum, Oberflächenprüfung, Oberflächenprüfung, Untersuchung von Ablagerungen, Kratzern, Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche

XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY....

Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XY Phi Positioniersystem besteht aus zwei Lineartischen PLT165 (X- und Y-Achse) und einem Drehtisch DT200 (Phi-Achse). Das geschützte Gehäuse und die Metallbandabdeckung gewährleisten Staub- und Partikelschutz in industriellen Umgebungen. Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004° Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung Optionen: Verschiedene, hochauflösende Messsysteme Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene |....

Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6" Das System besteht aus zwei Lineartischen PLT240 (X- und Y-Achse) und einem Drehisch DT58 (Phi-Achse). Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Drehtisch mit einem DC-Motor angetrieben. Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004° Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung Optionen: Verschiedene, hochauflösende Messsysteme Aufbau mit Z-Achse, Traverse, Gestell und Umhausung Linearmotor mit Temperaturüberwachung Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

KT470-DC

KT470-DC Hochpräzise mit großen Verfahrwegen Der Kreuztisch KT470 mit DC-Motor wird in der Oberflächeninspektion eingesetzt. Geringe Ablaufwerte, hinsichtlich Geradheit und Ebenheit, können durch den Einsatz von Kreuzrollen erreicht werden. Dies führt zu einer überdurchschnittlichen Wiederholbarkeit, die die Grundlage für eine gute Kompensation bildet. Dies ermöglicht eine extrem hohe Genauigkeit für Messanwendungen. Positionierung von Lasten bis 230 N mit einem günstigen Antrieb hohe Geschwindigkeiten bis 100 mm/s Sehr hohe Zuverlässigkeit mit minimalem Reibungswiderstand durch den Einsatz von geläppten Kreuzrollenführungen Optionen: Wahlweise mit DC-Motor oder Schrittmotor Hochauflösendes Messsystem Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Kostenoptimiert und zuverlässig positionieren Je nach Kundenwunsch wird das XY-System mit Schrittmotor oder DC-Motor ausgerüstet. Dabei ist der Gleichstrommotor erste Wahl für Anwendungen mit hohen Drehzahlen sowie kleinen Momenten. Erfordert die Positionieraufgabe dagegen niedrige Leistungen und geringe Drehzahlen, ist der Schrittmotor die passende Variante. Anwendungsfelder Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Messtechnik, Inspektionssysteme, Werkzeugvermessung

XYZ Positioniersysteme

XYZ-Positioniersysteme für Halbleiterapplikationen Wir bieten spezielle orthogonale Mehrachssysteme, Gantry-Systeme in unterschiedlichen Genauigkeitsklassen mit und ohne Luftlager und auch Multiachskombinationen, die alle Freiheitsgrade der Bewegung ermöglichen. Entsprechend Ihren Anforderungen wählen wir den passen Controller aus und liefern das Mehrachssystem vollständig in Betrieb genommen und getestet. EUV know-how Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit bis 10 Mio. Zyklen Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit 5 Nanometer Und noch höhere Präzision für sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche Senden Sie uns online Ihre Anforderungen Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse Reinraumsysteme bis ISO Klasse 1 Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 1. Mehr zur Serienentwicklung Vakuum-Standardachsen bis 10-12 Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand. Zu den Vakuum-Standardachsen Individuelle Lebensdauertestss Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors. Mehr zu Test und Messung Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung? Francisco Samuel Beratung & Projektmanagement T +49 (0) 351 88585-85 E-Mail Unsere Referenzen

Wafer und Chip Inspektion

Wafer und Chip Inspektion / Vermessung Für Sie finden wir kundenspezifische Lösungen für die berührungslose optische Inspektion von Wafern, Probe Cards, Dies und Mikrochipkomponenten. Hierzu bieten wir Systeme zur Schichtdickenmessung, Kontaktierungsprüfung, elektrische Charakterisierung, Messkopfpositionierung, Probenmanipulation und Vermessung von Wafer-Mikrostrukturen im Nanometerbereich. EUV know-how Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit bis 10 Mio. Zyklen Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit 5 Nanometer Und noch höhere Präzision für sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche Senden Sie uns online Ihre Anforderungen Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse Reinraumsysteme bis ISO Klasse 1 Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 1. Mehr zur Serienentwicklung Vakuum-Standardachsen bis 10-12 Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand. Zu den Vakuum-Standardachsen Individuelle Lebensdauertestss Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors. Mehr zu Test und Messung Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung? Francisco Samuel Beratung & Projektmanagement T +49 (0) 351 88585-85 E-Mail Unsere Referenzen

Halbleiter Fertigung & Handling

Halbleiter Fertigung & Handling Für Sie entwickeln wir kundenspezifische Lösungen in der Standard-, Elektronenstrahl- und EUV-Lithografie. Für den Aufbau Ihres Systems oder für die Integration in Ihre Anwendung. Hierzu bieten wir Systeme zur Strahlformung, Strahlhomogenisierung bzw. -gleichformung und Zoom z.B. Justage für Microstructuring, Stahlen sowie Linsen Maskenpositionierung oder Filtereinstellung. EUV know-how Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit bis 10 Mio. Zyklen Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit 5 Nanometer Und noch höhere Präzision für sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche Senden Sie uns online Ihre Anforderungen Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse Reinraumsysteme bis ISO Klasse 1 Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 1. Mehr zur Serienentwicklung Vakuum-Standardachsen bis 10-12 Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand. Zu den Vakuum-Standardachsen Individuelle Lebensdauertestss Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors. Mehr zu Test und Messung Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung? Francisco Samuel Beratung & Projektmanagement T +49 (0) 351 88585-85 E-Mail Unsere Referenzen

KT470-SM

KT470-SM Hohe Lasten mit großen Verfahrwegen Der Kreuztisch KT470 mit Schrittmotor wird in der Messtechnik und zur Oberflächeninspektion eingesetzt. Geringe Ablaufwerte, hinsichtlich Geradheit und Ebenheit, können durch den Einsatz von Kreuzrollen erreicht werden. Dies führt zu einer überdurchschnittlichen Wiederholbarkeit, die die Grundlage für eine gute Kompensation bildet. Dies ermöglicht eine extrem hohe Genauigkeit für Messanwendungen. Positionierung von Lasten bis 230 N mit einem günstigen Antrieb Reduktion zufälliger Fehler auf ein Minimum Sehr hohe Zuverlässigkeit mit minimalem Reibungswiderstand durch den Einsatz von geläppten Kreuzrollenführungen Optionen: Wahlweise mit DC-Motor oder Schrittmotor Hochauflösendes Messsystem Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Kostenoptimiert und zuverlässig positionieren Je nach Kundenwunsch wird das XY-System mit Schrittmotor oder DC-Motor ausgerüstet. Dabei ist der Gleichstrommotor erste Wahl für Anwendungen mit hohen Drehzahlen sowie kleinen Momenten. Erfordert die Positionieraufgabe dagegen niedrige Leistungen und geringe Drehzahlen, ist der Schrittmotor die passende Variante. Anwendungsfelder Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Waferinspektion, Chipinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Messtechnik, Inspektionssysteme, Werkzeugvermessung

Z Fokusachse für konfokale Optiken, CLSM, LSCM | automatisierte und....

Hochauflösend, industrietauglich und kostenoptimiert Dieses Positioniersystem für automatisierte konfokale Mikroskopie- und Kameraanwendungen ermöglicht mehr als 100 Millionen Fokussierungen und erzeugt exzellente Bilder. Gerade bei konfokalen Optiken sind kleinste Positionierschritte unter einem Mikrometer und minimale Abweichungen von einer ideal geraden Bewegung gefordert. Ein neues Antriebskonzept, bestehend aus einem zentrisch wirkenden Exzenterantrieb für 100 nm Positionierschritte, erfüllt alle Anforderungen der Industrie in Bezug auf Robustheit, Leistung, Zuverlässigkeit, Integration und Kosteneffizienz. Unempfindlich gegen äußere Vibrationen für exzellente, hochauflösende Bilder Ideal für automatisierte konfokale Mikroskopie-, Analyse- und ScananwendungenHochauflösende Messungen bis zu 0,1 µm mit konfokalen Sensoren, sowie Fokusstapel mit sehr kleinen StapelabständenExtrem steifer Antrieb, unempfindlich gegen äußere Vibrationen für exzellente BilderAbsolut gleichbleibende Qualität bei hohem Durchsatz von bis zu 100 mm/s durch die extrem robuste und langlebige Konstruktion Sehr hohe Lebensdauer und Führungsgenauigkeit durch den Einsatz von reibungsfreien FestkörpergelenkenKostenoptimiertes und hochpräzises Antriebskonzept bestehend aus Schrittmotor, Exzenter und Getriebe sowie linearem MesssystemOptional erweiterbar:Anpassbar für weitere Verfahrwege und verschiedene UntersuchungsobjektePositionisbestimmung der Fokuslage über ein lineares Messsystem, bei Bedarf auch über ein AbsolutesKonfigurierbar für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)Möglichkeit, die Optik konzentrisch in die Fokusachse zu integrierenGebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware Höchste Zuverlässigkeit und Stabilität Die Messung der erreichten Fokusposition erfolgt über ein lineares Messsystem, bei Bedarf auch über ein Absolutes. Dadurch wird eine deutlich erhöhte Genauigkeit und sofortige Verfügbarkeit des Systems nach dem Einschalten erreicht. Der Exzenterantrieb realisiert sehr kleine Positionierschritte und verfügt dennoch über einen extrem steifen Antrieb, der unempfindlich gegenüber äußeren Vibrationen ist. Durch das hohe Übersetzungsverhältnis des Antriebs können auch schwere Optiken problemlos eingesetzt werden. Das mit wenigen Kompromissen fast vollständig symmetrische System bietet durch die Membranführungen mit Wälzkörpern eine konkurrenzlos geringe Führungsgenauigkeit. Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Konfokalmikroskopie, Laser Scanning Mikroskopie, CLSM / LSCM, Bildgebende Technologien, Laborautomatisierung, Linienscanner, Tischlaborgeräte, Kamerasysteme, Messgeräte, Zellüberwachung, Wachstumsanalyse, Sensoren und bildgebende Systeme für Analytik, Krebsforschung, In-vitro-Diagnostik, Hochdurchsatz-Screening, Beam-Scanning

Technischer Support - Technischer Support

Technischer Support Wir helfen Ihnen, wenn Sie nicht weiterkommen. Die Inbetriebnahme von neuen Systemen und deren Einbindung in Ihre Umgebung ist selten selbsterklärend. Wir haben langjährige Erfahrung mit den von uns gelieferten Controllertypen wie Galil, MDrive, Technotion und Servostar. Mit dem Erwerb eines Galil-Systems erwerben Sie sogar lebenslangen Support für diesen Motioncontroller. Jedes von uns gelieferte System wird mit Beispielprogrammen auf dem Controller ausgeliefert, welche bereits zum Test bei uns im Hause genutzt wurden. Versuchen Sie in einem ersten Schritt, ausgehend vom jeweiligen Beispielprogramm, die Funktionalität des Controllers zu verstehen und passen Sie das Programm Schritt für Schritt Ihren Bedürfnissen an. Wenn Sie sich grundlegend mit Ihrem neuen System vertraut gemacht haben und an einen Punkt kommen, an dem Sie Unterstützung benötigen, vereinbaren Sie bitte einen Termin unserem Support-Team. Wir können uns bei Bedarf mittels Fernzugriff auf Ihr System schalten und so direkt helfend eingreifen. Beachten Sie bitte, dass wir für grundsätzliche Einführungen Schulungen in unserem Haus oder bei Ihnen vor Ort anbieten. Insbesondere für komplexe Systeme mit Direktantrieb und für Tische mit Nanomotion-Antrieb ist das dringend zu empfehlen. Wenn Sie hierzu ein Angebot wünschen, setzen Sie sich bitte mit Ihrem Berater in Verbindung. Dieser wird sich um die terminliche Abstimmung und Organisation Ihrer Schulung kümmern.

MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb,....

Hochpräzises kartesisches XYZ-System Das XYZ-Positioniersystem ist ein kartesisch angeordnetes Positioniersystem aus drei Miniatur-Lineartischen (3 x MT95). Es erreicht mit seinen Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der kräftige Antrieb aus speilfreiem Getriebe und Kugelgewindetrieb ist vollständig im Positioniersystem verbaut, wodurch es sich ideal für begrenzte Bauräume eignet. Ideal zum Ausrichten von Komponenten und weiteren Achsen XYZ-Stellwege bis 40 mm auf kleinstem Bauraum (145 x 95 x 130 mm) Sehr hochauflösende, schrittweise Korrekturen in den drei lateralen Richtungen Wiederholgenauigkeit bis 1.5 µm Optionen: Anpassung an den Prozess: Prüfling, Probenhalterung, Zuführung, Sensor Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Ausführung für 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Mikrobearbeitung und Mikromontage, Aufbau von Mehrachsanwendungen zum Ausrichten von Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), Wafer Probe Tests, Optikmontage, Halbleitertesting, Laborautomatisierung, Forschung und Entwicklung, Sondermaschinenbau

Technischer Support

Technischer Support Wir helfen Ihnen, wenn Sie nicht weiterkommen. Die Inbetriebnahme von neuen Systemen und deren Einbindung in Ihre Umgebung ist selten selbsterklärend. Wir haben langjährige Erfahrung mit den von uns gelieferten Controllertypen wie Galil, MDrive, Technotion und Servostar. Mit dem Erwerb eines Galil-Systems erwerben Sie sogar lebenslangen Support für diesen Motioncontroller. Jedes von uns gelieferte System wird mit Beispielprogrammen auf dem Controller ausgeliefert, welche bereits zum Test bei uns im Hause genutzt wurden. Versuchen Sie in einem ersten Schritt, ausgehend vom jeweiligen Beispielprogramm, die Funktionalität des Controllers zu verstehen und passen Sie das Programm Schritt für Schritt Ihren Bedürfnissen an. Wenn Sie sich grundlegend mit Ihrem neuen System vertraut gemacht haben und an einen Punkt kommen, an dem Sie Unterstützung benötigen, vereinbaren Sie bitte einen Termin unserem Support-Team. Wir können uns bei Bedarf mittels Fernzugriff auf Ihr System schalten und so direkt helfend eingreifen. Beachten Sie bitte, dass wir für grundsätzliche Einführungen Schulungen in unserem Haus oder bei Ihnen vor Ort anbieten. Insbesondere für komplexe Systeme mit Direktantrieb und für Tische mit Nanomotion-Antrieb ist das dringend zu empfehlen. Wenn Sie hierzu ein Angebot wünschen, setzen Sie sich bitte mit Ihrem Berater in Verbindung. Dieser wird sich um die terminliche Abstimmung und Organisation Ihrer Schulung kümmern. Ansprechpartner Technischer Support Serviceteam Tel.: +49 (0) 351 88585-32 serviceteam@steinmeyer.com

Kompakte automatisierte Probenzuführung | Lineareinheit mit....

Hochpräzise Probenzuführung in der Automatisierung Diese Positioniereinheit erlaubt eine hochpräzise Probenzuführung im Submikrometerbereich. Sie eignet sich speziell für Anwendungen für Verfahrwege bis 150 mm in einem sehr beschränkten Bauraum von 250 mm, wobei die Last unterschiedlich verteilt werden kann. Durch die Optimierung des Antriebskonzepts und das Einstellen der Vorspannung können, trotz des kleinen Bauraums, Übertragungsfehler auf Übertragungselemente auf ein Minimum reduziert werden. Nach hinten umgelegter Antrieb für mehr Raum Ideal für die automatisierte Probenzuführung bis 150 mm mit minimalen Bauraum von 250 mm Steif, kräftig und hoch stabil durch den Aluminium-Grundkörper für absolut gleichbleibende Prozesse Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis durch den Schrittmotor-Betrieb Integrierter Kugelgewindetrieb mit Zahnriemenumlenkung für den wartungsarmen 24/7 Betrieb Optional erweiterbar: Anpassung auf weitere Verfahrwege, Längen und Lasten Verschiedene Motorvarianten Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Automatisierung in der Biotechnologie, Laboranwendungen, Pharmaproduktion, Forschung und Entwicklung

Vakuum

Schmierstofffreie und hochpräzise Komponenten bieten wir speziell für die Vakuumtechnologie an. Unsere jahrelange Erfahrung in diesem Gebiet gibt uns Sicherheit für individuelle Lösungen.

Extrem feinfühlige Dosierachse für Infusionsgeräte | Hochpräzise X....

Hochpräzise redundante Messung zur Überwachung Für die redundante Messung zur Überwachung der Dosierung von Infusionen, wird die Konstruktion einer hochpräzisen Linearachse an die Anwendung angepasst. Diese Funktion erfolgt durch ein Potentiometer, das Fehldosierungen und technische Störungen verhindert. Extrem feinfühlige Dosierung – geringste Belastung für Patienten Ideal für hochmoderne medizinische Geräte wie Infusionspumpen oder dem Life-Support Absolut stabile und sichere Dosierung durch eine extrem hohe Wiederholgenauigkeit bis 1.2 µm Genauste Anpassung der Infusionen auf die Bedürfnisse des Patienten über sehr lange Zeiträume Interne Überwachung der Funktion durch ein Potentiometer, was Fehldosierung und technische Störungen verhindert Hohe Lebensdauer bei gleichmäßig hochpräzisen Bewegungen durch einen verschleißfreien Antrieb Besonderheiten: Unabhängigkeit von Toleranzen der Dosierflasche durch einen sehr robusten, zuverlässigen als auch stark motorisierten Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Optimierbar für verschiedene Dosieranwendungen Konfigurierbar für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Mikrometerdosierung, Infusionssysteme, Dosiersysteme, Dosiergeräte, Dosiertechnik, Infusionsgeräte, Injektion, Präzisionsregelung, Medikamentendosierung, Life-Support

XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern,....

Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate Z-Vertikaleinheit, an dem ein kundenspezifisches Mikroskop, Kamera oder Sensor montiert werden kann. Der Kreuztisch KT310 mit Schrittmotor auf der Granitplatte bewegt den zu untersuchenden Wafer hochpräzise zum Mikroskop und ermöglicht stabile und hochauflösende Aufnahmen. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums. Hochpräzise Analyse kleinster Details Ideal für optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten und Probe CardsLeicht adaptierbar auf verschiedene kundenspezifische Mikroskope, Kameras oder SensorenHochpräzise Oberflächeninspektion von Wafern bis 200 x 200 mm Wartungsarm und mit optimierten Preis-Leistungsverhältnis durch den Antrieb mit SchrittmotorOptionale Erweiterungen: Weitere Verfahrwege und LängenMit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder AluminiumAusführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit AbsaugungIndividuelle Lösungen für die KabelführungAngepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer DämpferIntegration in die kundenspezifische Gesamtanwendung Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Inspektion und Mikroskopie großer Proben z.B. Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Solarpanels, Laser, Oberflächenprüfung, Untersuchung von Ablagerungen, Kratzern, Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche

XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z....

Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses vielfältig adaptierbare Gantry für die Überkopfbearbeitung ist in Achsenanzahl, Baugröße und Antrieb aus den Standardachsen der PLT-Reihe frei konfigurierbar. An verstärkten Traverse lassen sich drei und mehr kundenspezifische Bearbeitungsköpfe, Kameras, Sensoren, usw. adaptieren. Flexibler und automatisierter 24/7-Betrieb Ideal für die integrierte Inline-Qualitätskontrolle, Hochgeschwindigkeits-Pick-and-Place-Aufgaben und kombinierte Anwendungen Drei frei konfigurierbare Achsen an der Traverse für individuelle sämtliche Überkopfanwendungen Hoher Durchsatz durch Verfahrwege von 500 x 700 x 100 mm, erweiterbar auf 1000 mm Extrem hohe Wiederholgenauigkeiten bis 0.4 µm Entkopplungen zwischen den Gantryachsen und der Traverse für eine einfache Regelbarkeit über Motorencoder und Vermeidung von Überbestimmung Optional erweiterbar: Ausbau mit weiteren Z-Achsen für die Integration weiterer Bearbeitungsköpfe, Kameras oder Sensoren Anpassung der Verfahrwege für die Produktionsfläche Sicherheitsumhausung Grundplatte aus Granit, Aluminium oder weiteren Materialien Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung Busfähiger voll interpolierender Industriecontroller zur Einbindung in nahezu jede Automatisierungsumgebung Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Auf- und Ausbau von integrierten Prozessen, Automatisch optische Inspektion (AOI), automatisierte Montage, Qualitätssicherung, Waferinspektion, 3D-Druck, Pick-and-Place-Anwendungen, Inline-Messung

XYZ Gantry System für 3D Automatisierung | XY Linearmotor,....

Hochpräzise, universelle 3D-Überkopfanwendungen Dieses 3-Achs-Positioniersystem lässt sich flexibel für Produktions- und Inspektionsprozesse für verschiedene Anwendungen adaptieren. Der kundenspezifische Bearbeitungs- bzw. Messkopf an der Z-Achse bewegt sich Überkopf über den Probenträger. Basierend auf der Linearachse LA250 mit linearen Direktantrieb erreicht dieses System hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei hoher Präzision und sehr guter Reproduzierbarkeit. Für die vertikale Positionierung wird der hochpräzise Lineartisch PLT165-AC mit einem leistungsstarken AC-Servomotor als Antrieb für seinen Präzisionskugelgewindetrieb genutzt. Optimiert für leistungsstarke Automatisierungsanwendungen Ideal für automatisierte Hochdurchsatzanwendungen durch große Verfahrwege von 700 x 700 x 200 mm Hochdynamische, schnelle Bearbeitung der Proben durch Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s Hochpräzise Positionierung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm Überragende Stabilität für eine hohe Reproduzierbarkeit und Auflösungen Optional erweiterbar: Adaption an den kundenspezifischen Produktions- oder Messkopf Anpassung der Verfahrwege bis 2000 mm für die Produktionsfläche Sicherheitsumhausung und verschiedene Grundplatten Abwischbare, chemikalienresistente Oberflächen Steuerung in Z manuell oder motorisch Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Automatisierung, Hochdynamische Herstellungsprozesse, Micromanufacturing, 3D Druck Systeme, hochauflösende Inspektion kleiner Proben, Hochdurchsatz-Screening, Life Science Mikroskopie, Cytologie, Diagnostik, Laborautomation, Waferinspektion

8-Achs-Positioniersystem / Goniometer für Analytik, Inspektion | XYZ....

Hochauflösende Unsersuchung aus 8 Winkeln Dieses 8-achs-Positioniersystem ermöglicht es, verschiedene Probengeometrien und sonstige Teile zu analysieren und inspizieren. Beide Kameras / Sensoren können über der Probe geschwenkt und in der Höhe verstellt werden. Zusätzlich kann der Probenträger durch Kippen parallel zur Messfläche aufgerichtet werden, um Unterschiede zwischen den einzelnen Prüflingen auszugleichen. Durch die XY Rz Positionierung kann die Probe durch die kundenspezifische Kamera aus jedem Winkel im räumlichen Abstrahlungsverhalten beurteilt werden. Kompakte Positionierlösung mit optimierten Preis-Leistungs-Verhältnis Ideal für den flexiblen Aufbau von kompakten Analytik- und Inspektionssystemen mit mehr als 5 Freiheitsgraden Hochpräzise Erfassung mit Wiederholgenauigkeiten bis 2.5 µm / 0.005° Stabile und steife Konstruktion als koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren um einen gemeinsamen Mittelpunkt schwenkt Wartungsarm und mit optimierten Preis-Leistungsverhältnis durch den Antrieb mit Schrittmotor Optional erweiterbar: Verschiedene Verfahrwege Grundplatte aus Aluminium oder Granit Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung Aufbau Ihres Gesamtsystems mit Gestell, Gehäuse und Steuerung inkl. Inbetriebnahme mit Software Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Positioniersystem zur hochpräzisen Analyse, Laboranalytik, Visuelle mikrometergenaue Inspektion, Fehlererkennung unter räumlichen Abstrahlverhalten, Industrielle und Pharmazeutische Analytik, Displayinspektion

8-Achs-Positioniersystem / Goniometer zur Inspektion von Displays |....

Hochpräzise Inspektion kleinster Pixel aus jedem Winkel Bei diesem hochpräzisen Positioniersystem wird das zu untersuchende Display auf einem Kreuztisch zu den kundenspezifischen Kameras bzw. Sensoren verfahren. Beide Kameras / Sensoren können geschwenkt und in der Höhe verstellt werden. Zusätzlich kann das zu prüfende Display durch Kippen parallel zur Messfläche aufgerichtet werden, um Unterschiede zwischen den einzelnen Prüflingen auszugleichen. Durch die XY Rz Positionierung des Displays kann somit jedes Pixel durch die kundenspezifische Kamera aus jedem Winkel im räumlichen Abstrahlungsverhalten beurteilt werden. Kompakte Positionierlösung mit optimierten Preis-Leistungs-Verhältnis Ideal für den flexiblen Aufbau von kompakten Inspektionssystemen mit mehr als 5 Freiheitsgraden Hochpräzise Erfassung der räumlichen Abstrahlung jedes Pixels mit Wiederholgenauigkeiten bis 2.5 µm / 0.005°Stabile und steife Konstruktion als koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren um einen gemeinsamen Mittelpunkt schwenktWartungsarm und mit optimierten Preis-Leistungsverhältnis durch den Antrieb mit SchrittmotorOptional erweiterbar:Verschiedene VerfahrwegeAnpassung der Sensorinterfaces an kundenspezifische KamerasAusführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit AbsaugungIndividuelle Lösungen für die KabelführungIntegration in die kundenspezifische GesamtanwendungAufbau Ihres Gesamtsystems mit Gestell, Gehäuse und Steuerung inkl. Inbetriebnahme mit Software Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Positioniersystem zur hochpräzisen Inspektion von z.B. Flachbildschirmen, flexible Electronic Paper Displays, visuelle Qualitätssicherung von Displays, Kamera-Inspektionssysteme, Mehrachs-Display-Inspektion, hochauflösende computergesteuerte Displayinspektion

XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene....

Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor an der Z-Achse über das Messobjekt. Basierend auf der Linearachse LA250 mit linearen Direktantrieb erreicht dieses System hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei hoher Präzision und sehr guter Reproduzierbarkeit. Für die vertikale Positionierung wird der hochpräzise Lineartisch PLT165-AC mit einem leistungsstarken AC-Servomotor als Antrieb für seinen Präzisionskugelgewindetrieb genutzt. Er besitzt eine hohe Traglast, auch für schwere Sensoren. Hoher Durchsatz im wartungsarmen 24/7 Betrieb Ideal zur automatisierten Inspektion großen, flachen Proben z.B. Wafer, Probecards mittels Fahrbrücke Sehr lange Verfahrwege von 700 x 700 x 200 mm für Lasten bis 15 kg Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm Höchste Stabilität für Messungen mit hoher Vergrößerung Optional erweiterbar: Verschiedene Verfahrwege bis 2000 mm Steuerung in Z manuell oder motorisch Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsbereiche Herstellung / Inspektion / Qualitätssicherung kleiner Komponenten, Inspektion von Probecards, Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Chipping / Riss- / Defekterkennung, Oberflächenprüfung, Schichtdickenmessung mit einem Sensor, Pharmainspektion, Vermessung biologischer Proben, Ausrichten und Inspektion von optischen Komponenten, Aufbau von Montagesystemen in der Mikroelektronik, AOI (Automatisch optische Inspektion)

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion....

Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer und flacher Proben bis 50 kg entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die gleichzeitige Positionierung von Sensor in Z und Prüfling in XY auf sehr kompakten Bauraum. Das robuste System erlaubt auch in Z den Einsatz von schweren Sensoren oder Kamerasystemen bis 20 kg. Der Spindelantrieb garantiert in Kombination mit einer Spindelbremse optimale Selbsthaltung, sodass im stromlosen Zustand eine vertikale Position gehalten werden kann. Das emissionsarme ringsum geschlossene System eignet sich auch für raue Industrieumgebungen unter Staub und Rauch. Für die Kabelaufführungen wurde eine Aufhängung am Granit angebracht. Kompaktes Design mit optimierten Preis-Leistungs-Verhältnis Ideal für Oberflächeninspektion und Schichtdickenmessung großer Proben bis 650 x 650 mmPräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 2 µmGutes Preis-Leistungsverhältnis durch Antrieb mit SchrittmotorStarke und robuste Z-Achse für Sensoren bis 20 kgGeeignet für Industrieumgebungen z.B. Staub, Rauch Optional erweiterbar:Verschiedene Verfahrwege bis 1000 mmMit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder AluminiumAusführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit AbsaugungIndividuelle Lösungen für die KabelführungAngepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer DämpferIntegration in die kundenspezifische GesamtanwendungGebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Automatisierte Inline-Inspektion und Mikroskopie großer Proben z.B. Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Solarpanels, Laser, Schichtdickenmessung, AOI, Qualitätssicherung in staubigen rauchenden Umgebungen, Oberflächenprüfung, Untersuchung von Ablagerungen, Kratzern, Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche

XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik....

µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung Der Gantryaufbau ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.200 x 1.400 mm (angepasst an die Aufgabe und den verfügbaren Stellplatz) bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm und ist damit ein Garant für hohen Durchsatz bei gleichbleibender Qualität. In der horizontalen XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren für Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Traverse ist für Lasten bis 10 kg ausgelegt, die Höhe kann dabei je nach Anwendung und Bauteilhöhe bis 500 mm variieren. Vielzahl an individuellen Anpassungsmöglichkeiten Ideale Basis für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung Sehr große Verfahrwege von 1200 x 1400 x 200 mm Hochdynamisch für Spitzengeschwindigkeiten bis zu 1000 mm/s Integrierte Linearmotoren garantieren hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bei gleichzeitig hoher Präzision Hochpräziser und langlebiger Antrieb in Z durch einen geschliffenen Präzisions-Kugelgewindetrieb Leichte Ein- bzw. Anbindung an automatisierte Handlingsysteme Zusätzliche Verkleidung mit integrierter Absaugung bzw. Umhausung für Ausführungen bis Reinraumklasse ISO 6 Optional erweiterbar: Anreihbare Systemausführung Anpassung der Verfahrwege, Längenkombination, Verkabelung und Steuerung Kombination mit Hubtischen und/oder Drehachsen für die Inspektion komplexer Geometrien Bereitstellung von kundenspezifischen Schnittstellen für teil- oder hochautomatisierte Halbleiterfabriken Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Hochdynamische Laseranwendungen, Qualitätsinspektion, Metrologie, Prozessüberwachung, Wafer-Inspektion, Bondkontrolle, Optische Mikroskopie, Vermessung von Oberflächen, Mikrolaserfügen, Mikrolaserschweißen, Lasermikrobearbeitung, Mikrolaserschneiden

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion....

Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer Carrier bis 50 kg entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die gleichzeitige Positionierung von Sensor in Z und Prüfling in XY auf sehr kompakten Bauraum. Das robuste System erlaubt auch in Z den Einsatz von schweren Sensoren oder Kamerasystemen bis 20 kg. Der Spindelantrieb garantiert in Kombination mit einer Spindelbremse optimale Selbsthaltung, sodass im stromlosen Zustand eine vertikale Position gehalten werden kann. Das emissionsarme ringsum geschlossene System eignet sich auch für raue Industrieumgebungen unter Staub und Rauch. Für die Kabelaufführungen wurde eine Aufhängung am Granit angebracht. Kompaktes Design mit optimierten Preis-Leistungs-Verhältnis Ideal für Inspektion großer Carrier bis 650 x 650 mm Präzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 2 µm Gutes Preis-Leistungsverhältnis durch Antrieb mit Schrittmotor Starke und robuste Z-Achse für Kameras, Mikroskope und Sensoren bis 20 kg Geeignet für Industrieumgebungen z.B. Staub, Rauch Optional erweiterbar: Verschiedene Verfahrwege bis 1000 mm Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit Absaugung Individuelle Lösungen für die Kabelführung Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware Individuelle Erweiterungen und Anpassungen Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests Anwendungsfelder Automatisierte Inline-Inspektion und Mikroskopie großer Proben z.B. Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Solarpanels, Laser, Schichtdickenmessung, AOI, Qualitätssicherung in staubigen rauchenden Umgebungen, Oberflächenprüfung, Untersuchung von Ablagerungen, Kratzern, Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche