LA92-NM
Vakuum-Standardachsen

782475 037 26

Hauptanwendung und Nutzen

Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung.

Besonderheit

  • Positionierung mit extrem hoher Auflösung
  • sehr schmale Bauform
  • innenliegender Motor
  • magnetfrei
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11  mbar
  • Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • max. Ausheiztemperatur: 120 °C

Parameter

  • Hub: 40 mm
  • Repro: ± 0,4 µm
  • Last: 2 kg horizontal, 1 kg vertikal
  • Geschwindigkeit: 100 mm/s

Technik

  • Antrieb: Nanomotion
  • Messsystem: linear  5 nm bis 100 nm
  • Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
  • Controller: Galil


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