Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90

UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

Diese schnelle Transferachse eignet sich für präzise, schnelle und langlebige Anwendungen in Ultrahochvakuum. Auch werden wegen der sehr niedrigen Ausgasung und Partikelarmut die Anforderungen an einen Einsatz unter extrem ultravioletter Strahlung erfüllt. Die Achsen sind in den Größen LA80, LA95, LA170 erhältlich und für Lasten bis 20 kg im Vertikalbetrieb ausgelegt. Diese Achskombination entstand im Rahmen des “tOMography Nano crYo (OMNY)” mit dem Paul Scherrer Institut (PSI).

Präzise, schnell und langlebig im Ultrahochvakuum

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Transportsysteme im Ultrahochvakuum, Vakuumanwendungen mit Trockenschmierung, Transfersysteme, Vakuum Feinversteller, EUV Lithografie, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse, Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, Beschichtungsprozesse, Schichtdicken- und Schichtratenmessungen, Grundlagenforschung, Labortechnik, Analytik
 

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247