3-Achs-Strahljustage
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782300:087.26

 

UHV XYZ-System

Diese Baugruppe basiert auf einem Mikrotisch MT53 mit Piezoantrieb. Zwei dieser Tische bilden den ZX-Antrieb. Getrennt davon ist im gleichen Rohr der Y-Antrieb untergebracht.

 

782300:087.26 XYZ
Standard System MT53-5-PMMT53-10-PMMT53-5-PM
Verfahrweg[mm] 5105
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.2± 0.2± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.3± 0.3± 0.3
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]555
Max. Geschwindigkeit[mm/s]101010
Max. Last Fx[N]555
Max. Last Fy[N]8.88.88.8
Max. Last Fz[N]8.88.88.8
Länge[mm]195
Breite[mm]75
Höhe[mm]70
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Piezo Motor
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback Linearmesssystem
Auflösung Messsystem 0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm
Optionale Zusatzausstattung kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


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