3-Achs-Strahljustage
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
782300:087.26
UHV XYZ-System
Diese Baugruppe basiert auf einem Mikrotisch MT53 mit Piezoantrieb. Zwei dieser Tische bilden den ZX-Antrieb. Getrennt davon ist im gleichen Rohr der Y-Antrieb untergebracht.
782300:087.26 | X | Y | Z | |
Standard System | MT53-5-PM | MT53-10-PM | MT53-5-PM | |
Verfahrweg | [mm] | 5 | 10 | 5 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.2 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 5 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 10 | 10 | 10 |
Max. Last Fx | [N] | 5 | 5 | 5 |
Max. Last Fy | [N] | 8.8 | 8.8 | 8.8 |
Max. Last Fz | [N] | 8.8 | 8.8 | 8.8 |
Länge | [mm] | 195 | ||
Breite | [mm] | 75 | ||
Höhe | [mm] | 70 | ||
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||
Motor | Piezo Motor | |||
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | |||
Feedback | Linearmesssystem | |||
Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm | |||
Optionale Zusatzausstattung | kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |||
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm, magnetfrei | |||
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
Verwendete Standard Komponenten
MT53-PM
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