MP200-5
Manipulatoren

782497:006.26

Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller:

bis 20 N Last, bis zu 0.007 µm Auflösung für feinste Zustellbewegungen

Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine fünf Freiheitsgrade extrem gleichbleibend. Das System kann in allen drei Raumachsen verfahren werden. Zusätzlich lässt es sich in zwei Winkeln in der Ebene verkippen. 

 

  • extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm
  • maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in Rx und Ry
  • Belastbarkeit bis 20 N
  • feinste Zustellbewegungen bis 0.07 µm durch robuste, selbsthaltende Gleitgewindeantriebe
  • höchste Störungsresistenz durch die Lagerung durch Festkörpergelenke
  • absolut gleichbleibende Wiederholgenauigkeit bis ± 0.5 µm über alle Freiheitsgrade
  • sehr kompakt durch die integrierte 5-Achs-Ansteuerelektronik
  • einfache Stromversorgung und eine Standard-Datenschnittstelle bilden die Verbindung zum übergeordneten System

 

Drahtlose Daten- und Energieübertragung

In Kombination mit einem hochgenauen Drehtisch werden Rundheitsmessungen an zylindrischen Objekten ermöglicht. Als einziger Positioniertisch dieser Art werden die Energie- und Ansteuerungsdaten hierbei drahtlos übertragen. Hierdurch werden präzise Ablaufwerte ohne störende Effekte durch Schleifkontakte realisiert – eine Bedingung für den Einsatz in der modernen Messtechnik.

 

Anwendungsfelder

Das kompakte Mehrachssystem wurde speziell für eine hochgenaue Ausrichtung von Objekten in Fertigungs- und Messeinrichtungen entwickelt, wie z.B. vollautomatische Messeinrichtungen, Rundheitsmessgeräte, Halbleterinspektion, optische Zentriersysteme, Kalibrierungssysteme oder allgemeine Inspektionssysteme.

MP200-5XYZRxRy
Verfahrweg[mm] ± 2± 2± 2
Kippwinkel[deg]± 1.5± 1.5
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.5± 0.5± 0.5± 1.3± 1.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2± 2± 2± 5.2± 5.2
Auflösung[µm]0.0070.0070.0070.007
Kleinster Stellschritt[µm]± 0.07± 0.07± 0.07± 0.18± 0.18
Spitzengeschwindigkeit[mm/s]0.50.50.50.40.4
Max. Last[N]20
Außendurchmesser[mm]200
Innendurchmesser[mm]45
Höhe in Mittellage[mm]95
Gewicht[kg]3.6

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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