MP410-3
Manipulatoren

782476:001.26

Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb

Mit diesem Aligner werden zweit translative Bewegungen von 10 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 3 Grad realisiert. Der Aligner ist für Lasten bis zu 20 kg ausgelegt und ideal für die Inspektion von Wafern und anderen Substraten. Die Durchlichtöffnung erlaubt eine Transfermessung.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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