KT600-EDLM
Kreuztische

Extrem großer XY-Tisch in klassischer Plattenarchitektur für höchste Wiederholbarkeit
KT600-EDLM - Kreuztische

Präzisionsgigant mit höchster Wiederholbarkeit

Dieser große Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind.

Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet. Ein eisenloser elektrodynamischer Linearmotor sorgt für hohe Dynamik. Mit der damit erreichbaren hohen Beschleunigung und Spitzengeschwindigkeit ist der Tisch bestens für schnelle Scananwendungen sowie für dynamische Bahnfahrten geeignet.

Durch die auf die unterschiedlichen bewegten Massen abgestimmten Motoren in X und Y ist ein homogenes dynamisches Verhalten gegeben. Der Tisch verhält sich in beiden Achsen gleich.

 

Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung

Mit dem KT600-EDLM bieten wir ein Positioniersystem, mit dem Sie:

  1. extrem schnell Ihr Scan-Ergebnis erhalten bei einer Positioniergeschwindigkeit von 330 mm/s
  2. hohe Lasten mit einer extremen Auflösung von 0.05 µm scannen
  3. kostensparend die vergleichbare Performance von Luftlagersystem erreichen und zusätzlich nahezu wartungsfrei arbeiten

 

Einfache Montage und Wartung

Zusätzlich verfügt der Scantisch über eine integrierte Kabelführung. Ein steckbares Terminal vereinfacht Montage und Integration. Bis zu 500.000 Vollhübe arbeitet der KT600 komplett wartungsfrei, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig. Die Lebenserwartung beträgt bis zu zwei Millionen Vollhübe.

 

Ein Tisch - viele Möglichkeiten

Dieser XY Präzisionskreuztisch lässt sich einfach mit vorhandenen Systemen kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungsmöglichkeiten ergeben, wie z.B. für:

  • Halbleiterinspektion
  • Messanlagen
  • Messgeräte
  • Ersatz für Luflagertische

 

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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