LA340-EDLM
Linearachsen

Hochleistungs-Linearachse mit Luftlager, bis zu 2000 mm Verfahrweg, max. 500 N Last, Linearmotor (EDLM)
LA340-EDLM - Linearachsen

 

Mikrometer Linearachse mit Luftlager

Die Linearachse mit einer Breite von 340 mm baut auf einer Granitplatte auf und wurde mit Luftlagern konstruiert. Dadurch eignet diese sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen.

 

  • Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
  • Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 2060 mm/s
  • Belastbarkeit bis 500 N
  • Perfekte Ebenheit bei bis zu ± 0.8 µm
  • Reinraumtauglich mit extrem langer Lebensdauer


Höchste Dynamik bei perfekter Ebenheit

Das Antriebskonzept dieser Linearachse basiert auf einem dynamischen Linearmotor und einem linearen Messsystem, wodurch hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei hoher Präzision und sehr guter Reproduzierbarkeit erreicht werden.

 

Anwendungsfelder

Präzisionspositionierung in Messtechnik, Inspektion, Laserbearbeitung, Photonik, Präzisionsscannen, Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung

Modell LA340-500-EDLM-L-1000-EDLM-L-1500-EDLM-L-2000-EDLM-L
Verfahrweg[mm] 500100015002000
Wiederholgenauigkeit unidirektional[μm]± 0.3± 0.3± 0.3± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[μm]± 0.4± 0.4± 0.4± 0.4
Positioniergenauigkeit[μm]± 1.9± 3± 4.1± 5.2
Ebenheitsabweichung[μm]± 0.8± 1.5± 2.3± 3
Geradheitsabweichung[μm]± 0.8± 1.5± 2.3± 3
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]790121016302060
Max. Beschleunigung[m/s2]16253540
Max. Last Fx[N]100100100100
Max. Last Fy[N]500500500500
Max. Last Fz[N]500500500500
Max. Lastmoment Mx[Nm]30303030
Max. Lastmoment My[Nm]50505050
Max. Lastmoment Mz[Nm]30303030
Nicken[µrad]± 11± 16± 19± 20
Gieren[µrad]± 11± 16± 19± 20
Auflösung[µm]0.10.10.10.1
L1 [mm]1060156020602560
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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