Lineareinheit mit integrierter Dreheinheit

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PMT160-DC mit Basis aus Granit und Dreheinheit

Für die Waferinspektion musste ein Chuck kontinuierlich gedreht werden und dabei über den Radius des Wafers verfahren werden. Zusätzlich war ein Verfahren in die Beladestation gefordert. Gelöst wurde die Aufgabe durch eine kombinierte Einheit aus Lineartisch mit integrierter Dreheinheit. Der Lineartisch wurde als Variante des PMT160 auf eine vergrößerte Grundplatte montiert. Das Konzept mit Kreuzrollenführungen und Kugelumlaufspindel mit DC-Motor wurde erhalten. Der Linearschlitten enthält in sich wiederum eine kontinuierlich laufende Dreheinheit, welche aus einem Flachriemen-Antrieb mit DC-Motor besteht. Eine Basis aus Granit sorgt für die notwendige Stabilität der Messung und Schwingungsdämpfung.

Für den Einsatz im Reinraum entwickelt

Um Reinraumansprüchen zu genügen, wurden die Kabelführungen sowohl für das mittig liegende Messsystem als auch für die bewegte Dreheinheit innerhalb der Einhausung des Linearsystems untergebracht. Faltenbälge schließen das System nach außen hin ab. Reinraumbedingungen für ISO5 werden erfüllt. Dieses System liefern wir inzwischen in mehreren Varianten seit vielen Jahre als Serienausführung an unseren Kunden. Über den Lebenszyklus des Produktes hinweg stehen wir mit unserem Kunden in engen Kontakt und arbeiten an der Weiterentwicklung dieses Systems.


Ansprechpartner Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com