Spulensystem für Dreh-Hub-Antrieb

Ein direktgetriebener Drehtisch ist mit jeder Menge Magneten ausgestattet. Die Idee bei diesem Entwurf war es, das ohnehin vorhandene Magnetsystem ebenso für eine Hubbewegung zu nutzen. Dies lässt sich, wenn auch mit Kompromissen, realisieren. So ist das System für das Ausrichten und Ausheben eines Wafers ausreichend.


Ansprechpartner Panoptikum

Dipl.-Ing. Elger Matthes

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