Gantrysystem für Dickenmessung

782300:183.26

Aufgabe dieser Konstruktion ist es, ein flächiges Substrat von oben und unten messbar zu machen. Der Substratrahmen wird von einem klassischen H-Gantry bewegt und gleitet auf Luftlagern. An der stationären Traverse und unter dem Granit befinden sich Präzisionsmesstische PMT160 als Fokusverstellung für die Sensoren. Als Antriebsachsen werden Industrielinearachsen PLT165 verwendet. Die Verfahrwege sind 600 x 600 x 100 mm.

 


Ansprechpartner Mehrachssysteme

Dipl.-Ing. Reinhard Weihmann

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