Inspektionsanlage für Halbleiter

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Montagesystem für gehobene Anforderungen. Lieferung komplett im Designer-Gehäuse, lackiert, mit Granit Basis auf Dämpfern während das Gestell die Steuerung aufnimmt.

Die Halbleiter- und Elektronikfertigung erfordert umfangreiche Test- und Prüfprozesse, welche auf die jeweilige Technologie zugeschnitten sind. Dabei sind die Testproben (Wafer, Substrat, Leiterplatte, etc.) zu einem Sensor sehr genau zu manipulieren. Steinmeyer Mechatronik hat zu diesem Zweck ein universelles 4-achsiges Granitportal entwickelt. Je nach Anwendung kann noch zusätzlich an der Vertikalachse ein Schwenktisch angebaut werden. Um die Kosten zu minimieren und einen hohen Zuverlässigkeitsstandard zu gewährleisten, werden bewährte und getestete Standardkomponenten eingesetzt. Zur Positionierung der Testprobe wird der linearmotorgetriebene kompakte Kreuztisch KT405-320-EDLM eingesetzt. Der Verfahrweg von 320 mm entspricht den Forderungen für einen 12-Zoll-Wafer. Hohe Wiederholgenauigkeit (± 0,3 µm) und Positioniergeschwindigkeit (100 mm/s) sichern hierbei die Effizienz.

Die Justage des Sensors oder einer Kamera erfolgt in vertikaler Bewegung (maximal 50 mm) mit dem Präzisionsmesstisch PMT160-050-DC-R/L, der optional mit einem Schwenktisch ergänzt werden kann. Die Vertikalpositionierung besitzt ebenfalls eine Wiederholgenauigkeit von ± 0,3 µm. Optional kann zum Schwenken der Sensoren ein Drehtisch DT200 an die Vertikalachse montiert werden. Schläuche für Druckluft und Vakuum sind in das Kabelmanagement einbezogen.

Komplettiert wird der Mess- und Prüfplatz durch einen Stahltisch zur Aufnahme der Steuerelektronik und eine den Sicherheitsvorschriften entsprechende Schutzhaube. Das Gesamtgerät ist für den Einsatz in sensiblen Umgebungen konzipiert und kann in Reinräumen bis zur Klasse ISO 2 betrieben werden.

Der Vorteil dieses Konzeptes liegt in der schnellen Anpassungsfähigkeit an die unterschiedlichen Mess- und Prüfaufgaben. Durch die Verwendung von Standardkomponenten entstehen für den Nutzer Kostenvorteile.


Ansprechpartner Deutschland Nord

Tobias Zilian

+49 (0) 30 67827660

tobias.zilian(at)steinmeyer.com

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