XYZ-Versteller mit großem Durchlicht für die Inspektion von Chips

782327:002.24

Zur Durchleuchtung von Wafern

Dieses System wurde für die Inspektion von Chips auf einem 5-Zoll-Wafer konstruiert. Das bei dieser Aufgabe zur Anwendung kommende Messprinzip mit Durchleuchtung verlangte Zugänglichkeit des Wafers von beiden Seiten. Eine Sensormatrix steht dabei einer Strahlungsquelle gegenüber. Für jeden Chip ist ein Sensor vorgesehen. Mit dem Manipulator kann der Wafer um bis zu 10 mm in der Ebene und auch vertikal verfahren werden. Diese Wege sind ausreichend, um alle auf dem Wafer befindlichen Chips gleichzeitig zu vermessen und deren Fläche abzurastern. Durch das gleichzeitige Messen aller Chips wird eine enorme Steigerung des Durchsatzes erreicht. Für das Beladen und Fokussieren wird für die Vertikalbewegung ein Verfahrweg von 10 mm realisiert. Als Antriebe werden sehr kompakte DC-Motor-Getriebekombinationen verwendet, welche auf vorgespannte Gleitgewinde wirken.

Modell 782327:002.24

X

Y

Z

Verfahrweg

[mm]

10

10

10 

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm]

± 0.8

± 0.8

± 0.8

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm]

± 3.0

± 3.0

± 3.0

Max. Geschwindigkeit

[mm/s]

5

5

1

Max. Last

[N]

35

Motor

DC

 DC

 DC

Antrieb

GGT

 GGT

 GGT

Messsystem

 

Encoder

 Encoder

 Encoder


Ansprechpartner Manipulatoren

Dipl.-Ing. Reinhard Weihmann

Tel.: +49 (0) 351 88585-35

reinhard.weihmann(at)steinmeyer.com