Phi-XY-System mit Piezomotor mit sehr hoher Auflösung im Nanometerbereich

782300:056.26

Kleinste Stellinkremente in X und Y und Rotation um Z

Dieser Manipulator besteht aus zwei Lineartischen MT53, welche zum XY-System verbunden sind und die Positionierung in der Horizontalen vornehmen. Ein weiterer MT53 wirkt auf eine Drehlagerung.

Festkörpergelenk zum Ausrichten von Teilen

Das Drei-Achs-System ist zum Ausrichten von Teilen und Proben gedacht. Da für solche Korrekturbewegungen nur geringe Wege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad ausreichen, lässt sich mit einem Lineartisch eine Drehbewegung erzeugen, wenn dieser mittels eines Festkörpergelenkes seine Bewegung an einen ansonsten passiven Drehtisch überträgt. Ein solches Festkörpergelenk hat den Vorteil, dass es die Präzision des Lineartisches vollständig auf den Drehtisch überträgt. Wenn die Auslenkung unter 5 Grad bleibt, bleibt auch die Steifigkeit dieses Gelenkes in ausreichendem Maße erhalten, um Bewegungen im Nanometer-Bereich in Zug- und auch Druckrichung zu übertragen.

Geeignet für den Einsatz in der Halbleiterindustrie

Je nach Auflösung des im Tisch eingebauten Messystems sind Wiederholgenauigkeiten von minimal 30 nm erreichbar. Bitte beachten Sie, dass dafür ein höher auflösendes Messsystem verwendet werden muss als in der hier spezifizierten Standardausführung. Von Interesse ist der Manipulator vor allem in automatisierten Anlagen der Mikromontage oder für Experimentalaufbauten in der Forschung. Der Manipulator eignet sich sehr gut zum Ausrichten von Wafern in der Halbleiterindustrie. Zusätzlich eigenet sich der Manipulator für den Einsatz im Vakuum und ist in einer entsprechenden Ausführung erhältlich.

Modell 782300:056.26

X

Y

RZ

Verfahrweg

[mm; grad]

10

10

 10

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; grad]

± 0.4

± 0.4

± 0.001

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; grad]

± 0.7

± 0.7

± 0.002

Positioniergenauigkeit

[µm; grad]

± 1.4

± 1.4

± 0.015

Ebenheitsabweichung

[µm]

± 0.9

± 0.9

Geradheitsabweichung

[µm]

± 0.9

± 0.9

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; grad/s]

5

 5

10

Max. Beschleunigung

[m/s2; grad/s2]

0.1

 0.1

 200

Max. Last Fx

[N]

5

 5

 

Max. Last Fy

[N]

5

 5

 

Max. Last Fz

[N]

5

 5

 

Max. Lastmoment Mx

[Nm]

0.070.07

Max. Lastmoment My

[Nm]0.070.07

Max. Lastmoment Mz

[Nm]0.070.07
Nicken[µrad]

± 52

± 52

Gieren[µrad]

± 52

± 52

Auflösung

[µm]

0.10.1
Gewicht

[kg]

0.30.3

Ansprechpartner Manipulatoren

Dipl.-Ing. Reinhard Weihmann

Tel.: +49 (0) 351 88585-35

reinhard.weihmann(at)steinmeyer.com