Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit Luftlagern und Direktantrieben

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Mit diesem Mechanismus können Korrekturbewegungen von ± 5 mm und ± 3 Grad ausgeführt werden. Der redundante Mechanismus realisiert einen wählbaren, virtuellen Drehpunkt. Es werden Direktantriebe verwendet, welche mit Luftlagern kombiniert wurden.

Ansprechpartner Deutschland Nord

Tobias Zilian

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Francisco Samuel

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