Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb

782476:001.26

Mit diesem Aligner werden zweit translative Bewegungen von 10 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 3 Grad realisiert. Der Aligner ist für Lasten bis zu 20 kg ausgelegt und ideal für die Inspektion von Wafern und anderen Substraten. Die Durchlichtöffnung erlaubt eine Transfermessung.


Ansprechpartner Manipulatoren

Dipl.-Ing. Reinhard Weihmann

Tel.: +49 (0) 351 88585-35

reinhard.weihmann(at)steinmeyer.com