3-Achs-Manipulator MP200-3
782497:008.26Tripod mit Durchlicht
Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf Freiheitsgraden ermöglicht, wurde dieser Aligner mit drei Freiheitsgraden konstruiert. Er besteht intern aus drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen.
Einsatz in der Waferinspektion und für hochgenaue Montageaufgaben
Da oft eine Ausrichtung der Werkstücke ausreichend ist, kann die vertikale Verstellung, insbesondere in der Optikmontage, zum Ausgleich verschieden hoher Linsepakete genutzt werden. Zudem lässt sich aus diesem Manipulator und einem Kreuz-Durchlicht-Tisch oder Kreuztisch ein 5-Achs-Manipulator mit großem Verfahrweg in XY realisieren. Als XY-Systeme kommen dafür beispielsweise der KDT310, KT310 oder der KDT235 in Frage.
Verwendete Standard-Komponenten
DT310-SM

KDT235-DC

KDT310-DC

KT310-DC



Ansprechpartner Deutschland Süd
Francisco Samuel
Tel.: +49 (0) 351 88585-85