3-Achs-Aligner MP200-3

782497:008.26

Tripod mit Durchlicht

Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf Freiheitsgraden ermöglicht, wurde dieser Aligner mit drei Freiheitsgraden konstruiert. Er besteht intern aus drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Da

Einsatz in der Waferinspektion und für hochgenaue Montageaufgaben

Da oft eine Ausrichtung der Werkstücke ausreichend ist, kann die vertikale Verstellung, insbesondere in der Optikmontage, zum Ausgleich  verschieden hoher Linsepakete genutzt werden. Zudem lässt sich aus diesem Manipulator und einem Kreuz-Durchlicht-Tisch oder Kreuztisch ein 5-Achs-Manipulator mit großem Verfahrweg in XY realisieren. Als XY-Systeme kommen dafür beispielsweise der KDT310, KT310 oder der KDT235 in Frage.

Modell 782497:008.26

Z

Rx

Ry

Verstellweg

[µm]

± 2

 

Kippwinkel

[µm]

± 1.5

± 1.5

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm]

± 1

± 2

± 2

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm]

± 3

± 6

± 6

Auflösung

[µm;arcsec]

± 0.007

± 0.0018

± 0.0018

Kleinster Stellschritt

[µm;arcsec]

± 0.07

± 0.18

± 0.18

Max. Geschwindigkeit

[mm/s; grad/s]

0.5

0.5

0.4

Max. Last Fz

[N]

20

 

 

Außendurchmesser

[mm]

200

 

 

Innendurchmesser

[mm]

45

 

 

Höhe in Mittellage

[mm]

74

 

 

Gewicht

[kg]

3.6

 

 


Ansprechpartner Manipulatoren

Dipl.-Ing. Reinhard Weihmann

Tel.: +49 (0) 351 88585-35

reinhard.weihmann(at)steinmeyer.com