MT105
Vakuum-Standardachsen

782325:142.24, 782325:141.24, 782325:040.24

Konfigurierbarer Mikrotisch

HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten 
  • Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion, Piezo Motor oder Linearmotor
  • Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Flexibel und universell für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen

Der MT105 ist ein universell einsetzbarer Mikrotisch, der vor allem durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit überzeugt. Er ist dafür ausgelegt unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum und für nicht­-magnetische Anwendungen, hervorragende Ablauf­- und Positionier­genauigkeiten zu erreichen. Optional besteht die Möglichkeit, den Mikrotisch mit zwei Motoren auszu­statten, um höhere Lasten zu positionieren.

 

Anwendungsbereiche

Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage

MT105-UHV-30-2PM-L-50-PM-L-100-NM-L-100-PM-L-50-LM-L-100-LM-L
Verfahrweg[mm] 30501003050100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.2± 0.2± 0.2± 0.4± 0.4± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.3± 0.3± 0.3± 0.5± 0.5± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]555505050
Max. Last Fx[N]101010444
Max. Last Fy[N]555555555555
Max. Last Fz[N]555555555555
MotorPiezo MotorNanomotion


Länge[mm]152
Breite[mm]105
Höhe[mm]25
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch | magnetarm | magnetfrei
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
FeedbackLinearmesssystem

Erreichbare Werte bei flüssiger Schmierung

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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