MP105-3
Vakuum kompakte Mehrachssysteme
782300:206.26
Schneller, präziser Mikropositionierer
HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Miniaturisierter XYZ Manipulator für hochpräzise oder dynamische Anwendungen
Der Manipulator ist ein hochdynamisches 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung auf sehr begrenzten Bauraum. Es werden Stellwege bis 50 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern für hochpräzise Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum realisieren. Wahlweise ausgestattet mit einem Nanomotion, eignet er sich insbesondere für hochdynamische und hochpräzise Positionierungen.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung
| MP105-3 | -50-50-50-PM-L | -50-50-20-2PM-L | -50-50-50-LM-L | -50-50-20-2LM-L | |||
| Verfahrweg X | [mm] | 50 | 50 | 50 | 50 | ||
| Verfahrweg Y | [mm] | 50 | 50 | 50 | 50 | ||
| Verfahrweg Z | [mm] | 50 | 20 | 50 | 20 | ||
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.4 | ± 0.4 | ||
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.5 | ± 0.5 | ||
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 50 | 20 | ||
| Max. Last Fx | [N] | 5 | 5 | 5 | 5 | ||
| Max. Last Fy | [N] | 5 | 5 | 5 | 5 | ||
| Max. Last Fz | [N] | 5 | 10 | 5 | 10 | ||
| Feedback | Linearmesssystem | Linearmesssystem | Linearmesssystem | Linearmesssystem | |||
| Motor | Piezo Motor | Piezo Motor | Nanomotion | Nanomotion | |||
| Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | ||||||
| Länge | [mm] | 155 | |||||
| Breite | [mm] | 155 | |||||
| Höhe | [mm] | 195 | |||||
| Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV/EUV | |||||
| Schmierung flüssig | [mbar] | up to 10-8 | |||||
| Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | |||||
| Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | |||||
| Magnetismus Varianten | magnetisch | magnetarm | magnetfrei | ||||||
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