LT300
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:035.26, 782475:006.26
LT300 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

Präziser Hochlast Lineartisch

HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 10 kg Last

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
  • Sehr hohe Lebensdauer, auch bei Trockenlauf
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar mit Bremse
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Optional mit Controller FMC400/450

Stabilität im Nanometerbereich trotz hoher Lasten bis 10 kg

Der Lineartisch ist dafür ausgelegt unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum und im Ultra­-Hochvakuum, Lasten mit einer hohen Steifigkeit zu positionieren. Ausgestattet mit einer Piezozangenbremse, erreicht dieses Positioniersystem eine Stabilität im Nanometerbereich.

Anwendungsbereiche

Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Wafer Inspektion, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen

 

LT300 -50-SM-50-SM-L-100-SM-100-SM-L
Verfahrweg[mm] 5050100100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.9± 0.4± 2.9± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 0.5± 4± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]5555
Max. Geschwindigkeit[mm/s]10101010
Max. Last Fx[N]44444444
Max. Last Fy[N]44444444
Max. Last Fz[N]120120120120
Länge[mm]360360340340
Breite[mm]300300300300
Höhe[mm]65656060
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Schrittmotor
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback Open LoopLinearmesssystemOpen LoopLinearmesssystem
Auflösung Messsystem  0.1 µm 0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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