LA97
Vakuum Linearachsen und Lineartische

782457:005.24

Nanometer-Linearachse

HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Horizontale und vertikale Nanometer-Positionierung

Diese Vakuum-Linearachse für alle HV / UHV Bereiche bis 10-11mbar geeignet. Sie ist universell einsetzbar, da sie auch für vertikale Positionieraufgaben verwendet werden kann. Sie erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen und höchste Steifigkeit. Je nach zu bewegender Last können 2 bis 6 Motoren in Zangenanordnung verwendet werden.

 

Anwendungsfelder

Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter Ultraviolettstrahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

LA97-100-PM-200-PM-300-PM
Verfahrweg[mm] 100200300
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.015± 0.015± 0.015
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.02± 0.02

± 0.02

Positioniergeschwindigkeit[mm/s]555
Max. Last Fx[N]396898
Max. Last Fz[N]193958
Breite[mm]979797
Höhe[mm]444444
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch | magnetarm | magnetfrei
MotorPiezo Motor
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
FeedbackLinearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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