LA92
Vakuum Linearachsen und Lineartische

782475:037.26, 782475:028.26
LA92 - Vakuum Linearachsen und Lineartische

High Speed Linearachse

HV / UHV / EUV, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Schnelle horizontale und vertikale Positionierung im UHV

Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Sie verfügt über eine sehr schmale Bauform mit innenliegenden Motoren.

 

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

LA72-40-LM-L
Verfahrweg[mm] 40
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.4
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]100
Max. Last Fx[N]19
Max. Last Fz[N]19
Länge[mm]205
Breite[mm]92
Höhe[mm]32
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Varianten Magnetismus magnetisch | magnetarm | magnetfrei
MotorNanomotion
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
FeedbackLinearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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