LA92-NM
Vakuum-Standardachsen

782475:037.26

High Speed Linearachse

HV / UHV bis 10^-11, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, bis 2 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
  • Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Optional mit Controller FMC400/450

Schnelle horizontale und vertikale Positionierung im UHV

Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Sie verfügt über eine sehr schmale Bauform mit innenliegenden Motoren.

 

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

LA92-40-NM
Verfahrweg[mm] 40
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.4
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]100
Max. Last Fx[N]19
Max. Last Fz[N]19
Länge[mm]205
Breite[mm]92
Höhe[mm]32
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismusmagnetisch | magnetarm | magnetfrei
MotorNanomotion
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
FeedbackLinearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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