KDT310
Vakuum-Standardachsen

782330:032.26

Präziser Schwerlast-Kreuztisch

HV / UHV, 100 mm Verfahrweg, 90 - 150 mm Apertur, 0.7 µm Wiederholgenauigkeit, 20 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-8 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
  • Durchlicht in X mit 90 x 90 mm, Y 150 x 150 mm
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Mit und ohne Messsystem
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Hochbelastbares XY-Durchlichtsystem

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum kombiniert. Sein Konzept mit Profilschienenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik,  Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

KDT310-100-SM-100-SM-L
Verfahrweg[mm] 100100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 1.6± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2.1± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]1010
Max. Beschleunigung[m/s2]± 0.1± 0.1
Max. Last Fx[N]196196
Max. Last Fy[N]196196
MotorSchrittmotorSchrittmotor
FührungProfilschieneProfilschiene
FeedbackOpen LoopLinearmesssystem
Durchlicht X[mm]90 x 90
Durchlicht Y[mm]150 x 150
Länge[mm]310
Breite[mm]310
Höhe[mm]100
Vakuum[mbar]bis 10-8  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Max. Ausheiztemperatur[deg]100
Magnetismus Variantenmagnetisch | magnetarm | magnetfrei

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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