HT240
Vakuum Hubtische

782331:117.26

Präziser Hochlast Hubtisch

HV / UHV / EUV, 25 mm Verfahrweg, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 40 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
  • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional konfigurierbar:
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Optional mit Controller FMC400/450

Präziser Hubtisch für hohe Lasten bis 40 kg

Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 90 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Waferinspektion, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

HT240-SM-SM-L
Verfahrweg[mm] 2525
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 1.7± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2.7± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]1.71.7
Max. Last Fx[N]440440
Max. Last Fy[N]440440
Max. Last Fz[N]410410
Länge[mm]460460
Breite[mm] 240240
Höhe[mm]9090
Gewicht[kg]5.55.5
FeedbackOpen LoopLinearmesssystem
MotorSchrittmotor
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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