HDT255
Vakuum-Standardachsen

782475:013.14

Hochlast-Durchlicht-Hubtisch

HV / UHV / EUV, 16 mm Verfahrweg, 60 mm Apertur, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 10 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
  • Optional mit Controller FMC400/450
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Durchlicht
  • Verschiedene Verfahrwege
  • Wahlweise mit und ohne Messystem
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Optional mit Controller FMC400/450

Präziser Hubtisch für hohe Lasten

Der Hubtisch mit Durchlist ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum und unter Extrem Ultravioletter Strahlung geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 125 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.

 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Justage und Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten, Oberflächenanalyse, Schichtdickenmessung, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

HDT255-SM-SM-L
Verfahrweg[mm] 1616
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 1
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]8.38.3
Max. Last [N]9898
MotorSchrittmotorSchrittmotor
FeedbackOpen LoopLinearmesssystem
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid
Länge[mm]410410
Breite[mm] 225225
Höhe[mm]125125
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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