HDT255
Vakuum / Reinraum Hubtische

782475:013.14
HDT255 - Vakuum / Reinraum Hubtische

 

Durchlicht-Hubtisch

UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
  • Mit und ohne Durchlicht
  • Wahlweise mit und ohne Messystem
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Präziser Hubtisch für hohe Lasten

Der Hubtisch mit Durchlicht ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum und unter Extrem Ultravioletter Strahlung geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 125 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Mikroskopie, Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Justage und Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten, Oberflächenanalyse, Schichtdickenmessung, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

HDT255 -SM-SM-L
Verfahrweg[mm] 1616
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.9± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 1
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]8.38.3
Max. Geschwindigkeit[mm/s]16.616.6
Max. Last Fx[N]9898
Max. Last Fy[N]9898
Max. Last Fz[N]9898
Länge[mm]410410
Breite[mm]225225
Höhe[mm]125125
Apertur[mm]60 x 60
Gewicht[kg]11
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Schrittmotor 
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback Open LoopLinearmesssystem
Auflösung Messsystem -0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung Mit oder ohne Durchlicht, Gleitgewindetrieb oder Kugelgewindetrieb, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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