DT155
Vakuum Drehtische

782326:034.24

Flexibel konfigurierbar: Hochdynamischer Drehtisch mit großer Apertur (79 mm)

HV, n x 360°, 0.0005° Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV bis 10-8 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung

Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das große Durchlicht von 79 mm können auch große Proben exakt positioniert, vermessen und analysiert werden. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

DT155-LM
Verfahrweg[deg] n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional[deg]± 0.0003
Wiederholgenauigkeit bidirektional[deg]± 0.0005
Positioniergeschwindigkeit[deg/s]200
Max. Last[N]49
Länge[mm]200
Breite[mm]155
Höhe[mm]35
Vakuum[mbar]bis 10-8  HV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Max. Ausheiztemperatur[deg]100
Varianten Magnetismus magnetisch | magnetarm
MotorNanomotion
FührungEdelstahl
FeedbackLinearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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