EUV adjuster
Vacuum / Cleanroom Multi Axes Systems
782479:001.26
UHV mirror adjuster for Beamline
This UHV positioning unit tilts into the beam by rope pulley driven from outside the vacuum chamber. Thus the mirror system changes linear polarized light into circular polarized light. For control of the circular polarization the mirror unit can be rotated around the beam by means of a steel band pulley.
FMC 220
Vielfältig kombinierbarer Controller, ideal für Laboranwendungen, Steuerung von 1 – 128 Achsen gleichzeitig
FMC 250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.
FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.
SPS
Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff
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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!
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