LA170
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:031.26; 782475:033.26
LA170 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

Präzise Schwerlast XYZ Linearachse

HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 20 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
Optional konfigurierbar:
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Hochpräzise Positionierung in X, Y und Z bis 20 kg

Sie wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme sowie für das Scannen von mehreren Proben gleichzeitig eingesetzt. Sie ermöglicht eine extrem feine Positionierung mit hoher Lasten im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung.
 

Anwendungsbereiche

Aufbau von Mehrachssystemen, Prozessautomatisierung, 3D Scans, Probenscan, Positionierung bildgebender Systeme, Mikroskopie, Analyse von Proben, Halbleiterinspektion, Qualitätssicherung in der Biotechnologie und Halbleitertechnik, Forschung, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

LA170 -60-SM -60-SM-L-130-SM-130-SM-L
Verfahrweg[mm] 6060130130
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.8± 0.4± 2.8± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 0.5± 4± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]5555
Max. Geschwindigkeit[mm/s]10101010
Max. Last Fx[N]196196196196
Max. Last Fy[N]196196196196
Max. Last Fz[N]196196196196
Länge[mm]255255365365
Breite[mm]170170170170
Höhe[mm]70120120120
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Schrittmotor
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid   
Feedback Open LoopLinearmesssystemOpen Loop Linearmesssystem
Auflösung Messsystem  0.1 µm 0.1 µm
Zusatzausstattung Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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