MT105
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
782325:142.24, 782325:141.24, 782325:040.24
Konfigurierbarer Mikrotisch
HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Flexibel und universell für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen
Der MT105 ist ein universell einsetzbarer Mikrotisch, der vor allem durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit überzeugt. Er ist dafür ausgelegt unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum und für nicht-magnetische Anwendungen, hervorragende Ablauf- und Positioniergenauigkeiten zu erreichen. Optional besteht die Möglichkeit, den Mikrotisch mit zwei Motoren auszustatten, um höhere Lasten zu positionieren.
Anwendungsbereiche
Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage
| MT105-UHV | -30-2PM-L | -50-PM-L | -100-NM-L | -100-PM-L | -50-LM-L | -100-LM-L | ||||
| Verfahrweg | [mm] | 30 | 50 | 100 | 30 | 50 | 100 | |||
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 | |||
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 | |||
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 5 | 50 | 50 | 50 | |||
| Max. Last Fx | [N] | 10 | 10 | 10 | 4 | 4 | 4 | |||
| Max. Last Fy | [N] | 55 | 55 | 55 | 55 | 55 | 55 | |||
| Max. Last Fz | [N] | 55 | 55 | 55 | 55 | 55 | 55 | |||
| Motor | Piezo Motor | Nanomotion | ||||||||
| Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | |||||||||
| Feedback | Linearmesssystem | |||||||||
| Länge | [mm] | 152 | ||||||||
| Breite | [mm] | 105 | ||||||||
| Höhe | [mm] | 25 | ||||||||
| Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV/EUV | ||||||||
| Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||||||||
| Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||||||||
| Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||||||||
| Magnetismus Varianten | magnetisch | magnetarm | magnetfrei | |||||||||
Erreichbare Werte bei flüssiger Schmierung
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