LA97
Vacuum / Cleanroom linear stages and axes

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LA97 - Vacuum / Cleanroom linear stages and axes

 

Nanometer linear stage

HV / UHV up to 10E-11, 100 - 300 mm travel, 0.02 µm repeatability, up to 10 kg load

  • Vacuum: all areas HV / UHV up to 10-11 mbar
  • Lubrication: liquid up to 10-8 mbar / dry up to 10-11 mbar
  • Max. Bakeout temperature: 120°C
Optionally configurable:
  • Magnetic, low-magnetic and magnet-free versions available
  • Material selection and vacuum lubrication adapted to the application
  • Individual adaptation to the installation situation in the chamber
  • Version for clean room ISO 14644-1 (up to class 1 on request)
  • Optional with controller FMC400/450

Horizontal and vertical nanometer positioning

This vacuum linear axis is suitable for all HV / UHV ranges up to 10-11mbar. It is universally applicable, as it can also be used for vertical positioning tasks. It achieves extremely high resolutions and highest stiffness in vacuum. Depending on the load to be moved, 2 up to 6 motors can be used in pincer arrangement.

Fields of application

High precision scanning applications, micro assembly, semiconductor technology in ultra-high vacuum and under ultraviolet radiation, vacuum chambers, research, beamline instrumentation, electronics assembly and inspection

 

782457:005.24 -100-PM-200-PM-300-PM
Travel[mm]100200300
Repeatability unidirectional[μm]± 0.015± 0.015± 0.015
Repeatability bidirectional[μm]± 0.02± 0.02± 0.02
Positioning speed[mm/s]555
Max. speed[mm/s]7.57.57.5
Max. load Fx[N]396898
Max. load Fy[N]396898
Max. load Fz[N]193958
Length[mm]120220320
Width[mm]979797
Height[mm]444444
Lubrication liquid[mbar]up to 10-8  
Lubrication dry[mbar]up to 10-11  
Max. Bakeout temperature[deg]120
Motor Piezo Motor
Bearing cross roller bearings stainless steel, hybrid, optional full ceramic
Feedback Linear Scale
Resolution Measuring system0.000005 µm, optionally up to 0.000001 µm
Optional features custom fluorine-free / PFAS-free UHV lubrication, adapter, bore grid, cable / plugs
Variants clean room up to clean room class ISO 6 (higher on request)
Variants beam UV, DUV (EUV, X-ray, gamma on request)
Variants Magnetismmagnetic, low-magnetic, magnet-free
Variants vacuum  all ranges up to 10-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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