LA92
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
782475:037.26, 782475:028.26
High Speed Linearachse
HV / UHV / EUV, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Schnelle horizontale und vertikale Positionierung im UHV
Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Sie verfügt über eine sehr schmale Bauform mit innenliegenden Motoren.
Anwendungsbereiche
Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion
LA72 | -40-LM-L | |||
Verfahrweg | [mm] | 40 | ||
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.3 | ||
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.4 | ||
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 100 | ||
Max. Last Fx | [N] | 19 | ||
Max. Last Fz | [N] | 19 | ||
Länge | [mm] | 205 | ||
Breite | [mm] | 92 | ||
Höhe | [mm] | 32 | ||
Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV | ||
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||
Varianten Magnetismus | magnetisch | magnetarm | magnetfrei | |||
Motor | Nanomotion | |||
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | |||
Feedback | Linearmesssystem |
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