KLT300
Vakuum / Reinraum Kreuztische
782475:002.26
Stabiler Hochlast-Kreuztisch
HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 80 mm Apertur, 0.7 µm Wiederholgenauigkeit, 30 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Höchste Stabilität im Nanometerbereich, auch im Trockenlauf
Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen LT300 zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung kombiniert.
Das System läuft vollkommen schmierstofffrei. Sein Konzept aus Kreuzrollenführungen und Gleitgewindetrieb ermöglicht enorm hohe Stabilität im Nanometerbereich. Optional kann dieses System mit geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten ausgelegt werden.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung für große Lasten, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron
KLT300 | -10-SM | -10-SM-L | |||||
Verfahrweg | [mm] | 10 | 10 | ||||
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 2.8 | ± 0.7 | ||||
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 4 | ± 0.5 | ||||
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | ||||
Max. Last | [N] | 294 | 294 | ||||
Motor | Schrittmotor | Schrittmotor | |||||
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid | |||||
Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | |||||
Durchlicht | [mm] | 80 x 80 | |||||
Länge | [mm] | 370 | |||||
Breite | [mm] | 330 | |||||
Höhe | [mm] | 120 | |||||
Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV/EUV | |||||
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | |||||
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | |||||
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | |||||
Magnetismus Varianten | magnetisch |
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