KDT310
Vakuum / Reinraum Kreuztische
782330:032.26
Präziser Schwerlast-Kreuztisch
HV / UHV, 100 mm Verfahrweg, 90 - 150 mm Apertur, 0.7 µm Wiederholgenauigkeit, 20 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Hochbelastbares XY-Durchlichtsystem
Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum kombiniert. Sein Konzept mit Profilschienenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.
Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron
KDT310 | -100-SM | -100-SM-L | |||||
Verfahrweg | [mm] | 100 | 100 | ||||
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 1.6 | ± 0.7 | ||||
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 2.1 | ± 0.5 | ||||
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 10 | 10 | ||||
Max. Last Fx | [N] | 196 | 196 | ||||
Max. Last Fy | [N] | 196 | 196 | ||||
Motor | Schrittmotor | Schrittmotor | |||||
Führung | Profilschiene | Profilschiene | |||||
Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | |||||
Durchlicht X | [mm] | 90 x 90 | |||||
Durchlicht Y | [mm] | 150 x 150 | |||||
Länge | [mm] | 310 | |||||
Breite | [mm] | 310 | |||||
Höhe | [mm] | 100 | |||||
Vakuum | [mbar] | bis 10-8 HV/UHV/EUV | |||||
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | |||||
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 100 | |||||
Magnetismus Varianten | magnetisch | magnetarm | magnetfrei |
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