KDT105
Vakuum / Reinraum Kreuztische

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KDT105 - Vakuum / Reinraum Kreuztische

Hochauflösender Kreuztisch

HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Durchlicht
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion oder Piezo Motor
  • Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem (z.B. MT105)
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
  • Optional mit Controller FMC400/450

Flexibles XY-Durchlichtsystem

Der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen bietet hohe Dynamik und Geschwindigkeit für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung. Gemessen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg.

Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht er kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Mit einem Nanomotion erreicht er eine sehr hohe Dynamik sowie hohe Geschwindigkeiten und verfügt über eine maximale Lebensdauer mit einer Präzision im Mikrometerbereich. 

Er lässt sich einfach mit dem Hubtisch MT105 oder den Drehtisch DT105 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik,  Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

KDT105-50-PM-50-LM
Verfahrweg[mm] 5050
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.3± 0.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.4± 0.7
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]2.525
Max. Last Fx[N]54
Max. Last Fy[N]54
Max. Last Fz[N]4545
Motor Piezo MotorNanomotion
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
FeedbackLinearmesssystem
Durchlicht[mm]40 x 40
Länge[mm]150
Breite[mm]150
Höhe[mm]50
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch | magnetarm | magnetfrei

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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