KLT300
Vakuum Kreuztische

782475:002.26

Stabiler Hochlast-Kreuztisch

HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 80 mm Apertur, 0.7 µm Wiederholgenauigkeit, 10 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Durchlicht in X mit 80 x 80 mm
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Messsystem
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

 

 

Höchste Stabilität im Nanometerbereich, auch im Trockenlauf

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen LT300 zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung kombiniert.

Das System läuft vollkommen schmierstofffrei. Sein Konzept aus Kreuzrollenführungen und zusätzlichen Piezo-Zangenbremsen ermöglicht enorm hohe Stabilität im Nanometerbereich.

 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für große Lasten, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

KLT300-10-SM-10-SM-L
Verfahrweg[mm] 1010
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.8± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]55
Max. Last Fy[N]9898
MotorSchrittmotorSchrittmotor
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybridKreuzrolle Edelstahl, hybrid
FeedbackOpen LoopLinearmesssystem
Durchlicht[mm]80 x 80
Länge[mm]370
Breite[mm]330
Höhe[mm]120
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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Ansprechpartner Vakuum-Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com