HT240
Vakuum / Reinraum Hubtische
782331:117.26
Präziser Hochlast Hubtisch
HV / UHV / EUV, 25 mm Verfahrweg, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 40 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Präziser Hubtisch für hohe Lasten bis 40 kg
Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-Keil-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 90 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Waferinspektion, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron
| HT240 | -SM | -SM-L | ||
| Verfahrweg | [mm] | 25 | 25 | |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 1.7 | ± 0.3 | |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 2.7 | ± 0.5 | |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 1.7 | 1.7 | |
| Max. Last Fx | [N] | 440 | 440 | |
| Max. Last Fy | [N] | 440 | 440 | |
| Max. Last Fz | [N] | 410 | 410 | |
| Länge | [mm] | 460 | 460 | |
| Breite | [mm] | 240 | 240 | |
| Höhe | [mm] | 90 | 90 | |
| Gewicht | [kg] | 5.5 | 5.5 | |
| Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | ||
| Motor | Schrittmotor | |||
| Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid | |||
| Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV | ||
| Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||
| Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||
| Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||
| Magnetismus Varianten | magnetisch | |||
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