HT160
Vakuum / Reinraum Hubtische

782331:124.26
HT160 - Vakuum / Reinraum Hubtische

Präziser Hochlast Hubtisch

HV / UHV / EUV, 16 mm Verfahrweg, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung
  • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1
Optional konfigurierbar:
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Präziser Hubtisch für hohe Lasten

Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe. Die Kombination aus Getriebemotoren und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

HT160-SM-SM-L
Verfahrweg[mm] 1616
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 1.7± 1
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2.7± 2
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]1.11.1
Max. Last Fx[N]5050
Max. Last Fy[N]5050
Max. Last Fz[N]4545
Länge[mm]348348
Breite[mm] 154154
Höhe[mm]5858
Gewicht[kg]4.54.5
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch
MotorSchrittmotor
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid
FeedbackOpen LoopLinearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Jetzt zur Übersicht unserer Standardachsen!

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