HDT255
Vakuum / Reinraum Hubtische
782475:013.14
Hochlast-Durchlicht-Hubtisch
HV / UHV / EUV, 16 mm Verfahrweg, 60 mm Apertur, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 10 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Präziser Hubtisch für hohe Lasten
Der Hubtisch mit Durchlicht ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum und unter Extrem Ultravioletter Strahlung geeignet. Aufgrund seines Hub-Keil-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 125 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung in der Mikroskopie, Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Justage und Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten, Oberflächenanalyse, Schichtdickenmessung, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron
| HDT255 | -SM | -SM-L | ||
| Verfahrweg | [mm] | 16 | 16 | |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 4 | ± 1 | |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 8.3 | 8.3 | |
| Max. Last | [N] | 98 | 98 | |
| Motor | Schrittmotor | Schrittmotor | ||
| Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | ||
| Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid | |||
| Länge | [mm] | 410 | 410 | |
| Breite | [mm] | 225 | 225 | |
| Höhe | [mm] | 125 | 125 | |
| Vakuum | [mbar] | bis 10-11 HV/UHV | ||
| Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||
| Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||
| Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||
| Magnetismus Varianten | magnetisch | |||
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