DT65
Vakuum / Reinraum Drehtische

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DT65 - Vakuum / Reinraum Drehtische

Hochpräziser Drehtisch

HV, n x 360°, 0.003° Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV bis 10-8 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Kleiner, hochdynamischer Drehtisch

Der kleinste Vakuum-Drehtisch im Produktportfolio überzeugt durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit. In Vakuum- und magnetarmer Ausführung ist der DT65 perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Er findet daher seinen Einsatz insbesondere in der Forschung und Entwicklung sowie in der Experimentalphysik. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.

Anwendungsfelder

Forschung und Entwicklung, Aufbau von Mehrachssystemen, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

DT165-LM
Verfahrweg[deg] n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional[deg]± 0.003
Wiederholgenauigkeit bidirektional[deg]± 0.006
Positioniergeschwindigkeit[deg/s]360
Max. Last [N]10
Länge[mm]106
Breite[mm]65
Höhe[mm]26
MotorNanomotion
FührungEdelstahl
FeedbackLinearmesssystem
Vakuum[mbar]bis 10-8  HV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Max. Ausheiztemperatur[deg]100
Varianten Magnetismus magnetisch | magnetarm

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Jetzt zur Übersicht unserer Standardachsen!

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