MT130-SM
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s
MT130-SM

Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht.

  • Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm)
  • Wiederholgenauigkeit bis 2.3 µm
  • Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen

Optionen:

  • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3
  • Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130
  • Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV 

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

 

Modell MT130 -50-SM-80-SM
Verfahrweg[mm]5080
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.3± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4.3± 4.3
Positioniergenauigkeit[µm]± 8.1± 9.7
Ebenheitsabweichung[µm]± 2.5± 4
Geradheitsabweichung[µm]± 1.8± 2.8
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]2020
Max. Geschwindigkeit[mm/s]4040
Max. Beschleunigung[m/s2]0.40.4
Max. Last Fx[N]4545
Max. Last Fy[N]9595
Max. Last Fz[N]9595
Max. Lastmoment Mx[Nm]4.64.6
Max. Lastmoment My[Nm]1.81.8
Max. Lastmoment Mz[Nm]1.61.6
Nicken[µrad]± 70± 90
Gieren[µrad]± 40± 55
Gewicht[kg]1.82.3
Länge[mm]130130
Breite[mm]130130
Höhe[mm]4343
Motor SchrittmotorSchrittmotor
Feedback Open LoopOpen Loop
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.


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