MT130-DC
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 0.7 µm, Last 9 kg, Speed 60 mm/s

Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht.

Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm)

Wiederholgenauigkeit bis 0.7 µm

Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen

Optionen:

Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3
Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130
Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit
Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

Spezifikationen

Modell MT130		-50-DC-R	-80-DC-R	-50-DC-L	-80-DC-L
Verfahrweg	[mm]	50	80	50	80
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.5	± 2.5	± 0.7	± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4.5	± 4.5	± 1.2	± 1.2
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 8.3	± 10	± 2.3	± 2.6
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 2.5	± 4	± 2.5	± 4
Geradheitsabweichung	[µm]	± 1.8	± 2.8	± 1.8	± 2.8
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	30	30	30	30
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	60	60	60	60
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.5	0.5	0.5	0.5
Max. Last F_x	[N]	45	45	45	45
Max. Last F_y	[N]	95	95	95	95
Max. Last F_z	[N]	95	95	95	95
Max. Lastmoment M_x	[Nm]	4.6	4.6	4.6	4.6
Max. Lastmoment M_y	[Nm]	1.8	1.8	1.8	1.8
Max. Lastmoment M_z	[Nm]	1.6	1.6	1.6	1.6
Nicken	[µrad]	± 70	± 90	± 70	± 90
Gieren	[µrad]	± 40	± 55	± 40	± 55
Gewicht	[kg]	1.8	2.3	1.8	2.3
Länge	[mm]	130	130	130	130
Breite	[mm]	130	130	130	130
Höhe	[mm]	43	43	43	43
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Feedback		Motor-Encoder	Motor-Encoder	Linearmesssystem	Linearmesssystem

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.