MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5°
Kompakte Mehrachssysteme
782459:003.26
Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit großer Apertur
Mit diesem flachen Aligner werden zwei translative Bewegungen von ± 5 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von ± 3° realisiert. Die Bewegung R (Phi) resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis 28 kg ausgelegt.
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Optional:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.
Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
Anwendungsfelder
Positionierung großer Substrate, Masken, Rahmen, Sieben, Druckplatten in partikelarmer Umgebung, Halbleiterprinter zum Aufbringen von Schichtkomponenten, UV Drucker, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen
| 782459:003.26 | X | Y | Rz | |
| Verfahrweg | [mm; deg] | ± 5 | ± 5 | ± 3 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm; deg] | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.0002 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm; deg] | ± 0.7 | ± 0.7 | ± 0.0003 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 50 | 50 | 10 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 100 | 100 | 20 |
| Max. Last | [N] | 5 | 5 | 100 |
| Gewicht | [kg] | 63 | ||
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 990 x 1090 x 225 | ||
| Apertur | [mm] | 730 x 730 | ||
| Führung | Luftlager | Luftlager | Luftlager | |
| Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos) | Dynamischer Linearmotor (eisenlos) | Dynamischer Linearmotor (eisenlos) | |
| Feedback | Linear Encoder | Linear Encoder | Linear Encoder | |
| Material | Aluminium eloxiert | |||
| Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 1 (auf Anfrage) | |||
| Varianten Strahlung | UV | |||
| Varianten Magnetismus | magnetisch | |||
