MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem, kartesisch mit Rz-Korrektur, magnetfrei | XY-Rz Piezomotor, Linearmesssystem
Kompakte Mehrachssysteme

782300:056.26
MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem, kartesisch mit Rz-Korrektur, magnetfrei | XY-Rz Piezomotor, Linearmesssystem - Kompakte Mehrachssysteme

 

Kleinste Stellinkremente in X und Y und Rotation um Z

Phi-XY-System mit Piezomotor

Dieser Manipulator besteht aus zwei Lineartischen MT53, welche zum XY-System verbunden sind und die Positionierung in der Horizontalen vornehmen. Ein weiterer MT53 wirkt auf eine Drehlagerung.

Festkörpergelenk zum Ausrichten von Teilen

Das Drei-Achs-System ist zum Ausrichten von Teilen und Proben gedacht. Da für solche Korrekturbewegungen nur geringe Wege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad ausreichen, lässt sich mit einem Lineartisch eine Drehbewegung erzeugen, wenn dieser mittels eines Festkörpergelenkes seine Bewegung an einen ansonsten passiven Drehtisch überträgt. Ein solches Festkörpergelenk hat den Vorteil, dass es die Präzision des Lineartisches vollständig auf den Drehtisch überträgt. Wenn die Auslenkung unter 5 Grad bleibt, bleibt auch die Steifigkeit dieses Gelenkes in ausreichendem Maße erhalten, um Bewegungen im Nanometer-Bereich in Zug- und auch Druckrichung zu übertragen.

Geeignet für den Einsatz in der Halbleiterindustrie

Je nach Auflösung des im Tisch eingebauten Messystems sind Wiederholgenauigkeiten von minimal 30 nm erreichbar. Bitte beachten Sie, dass dafür ein höher auflösendes Messsystem verwendet werden muss als in der hier spezifizierten Standardausführung. Von Interesse ist der Manipulator vor allem in automatisierten Anlagen der Mikromontage oder für Experimentalaufbauten in der Forschung. Der Manipulator eignet sich sehr gut zum Ausrichten von Wafern in der Halbleiterindustrie. Zusätzlich eigenet sich der Manipulator für den Einsatz im Vakuum und ist in einer entsprechenden Ausführung erhältlich.

 

782300:056.26 XYRz
Standardsystem MT53-PMMT53-PMMT53-PM
Verfahrweg[mm; deg]101010
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm; deg]± 0.4± 0.4± 0.001
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm; deg]± 0.7± 0.7± 0.002
Positioniergeschwindigkeit[mm/s; deg/s]5510
Max. Geschwindigkeit[mm/s; deg/s]101020
Max. Last[N]555
Motor Piezo Motor Piezo Motor Piezo Motor 
Führung KreuzrolleKreuzrolleKreuzrolle
Feedback linearmesssystemlinearmesssystemlinearmesssystem
Länge x Breite x Höhe[mm]121 x 85 x 76

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?

Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

 

Francisco Samuel
Beratung
Deutschland Süd

T +49 (0) 351 88585-85
E-Mail

 

Tobias Zilian
Beratung Deutschland Nord, CH, AUS

T+49 (0) 151 16755537
E-Mail

 

Unsere Referenzen