MP200-5
Manipulatoren

782497:006.26

Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller:

bis 20 N Last, bis zu 0.007 µm Auflösung für feinste Zustellbewegungen

Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine fünf Freiheitsgrade extrem gleichbleibend. Das System kann in allen drei Raumachsen verfahren werden. Zusätzlich lässt es sich in zwei Winkeln in der Ebene verkippen. 

 

  • extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm
  • maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in Rx und Ry
  • Belastbarkeit bis 20 N
  • feinste Zustellbewegungen bis 0.07 µm durch robuste, selbsthaltende Gleitgewindeantriebe
  • höchste Störungsresistenz durch die Lagerung durch Festkörpergelenke
  • absolut gleichbleibende Wiederholgenauigkeit bis ± 0.5 µm über alle Freiheitsgrade
  • sehr kompakt durch die integrierte 5-Achs-Ansteuerelektronik
  • einfache Stromversorgung und eine Standard-Datenschnittstelle bilden die Verbindung zum übergeordneten System

 

Drahtlose Daten- und Energieübertragung

In Kombination mit einem hochgenauen Drehtisch werden Rundheitsmessungen an zylindrischen Objekten ermöglicht. Als einziger Positioniertisch dieser Art werden die Energie- und Ansteuerungsdaten hierbei drahtlos übertragen. Hierdurch werden präzise Ablaufwerte ohne störende Effekte durch Schleifkontakte realisiert – eine Bedingung für den Einsatz in der modernen Messtechnik.

 

Anwendungsfelder

Das kompakte Mehrachssystem wurde speziell für eine hochgenaue Ausrichtung von Objekten in Fertigungs- und Messeinrichtungen entwickelt, wie z.B. vollautomatische Messeinrichtungen, Rundheitsmessgeräte, Halbleterinspektion, optische Zentriersysteme, Kalibrierungssysteme oder allgemeine Inspektionssysteme.

MP200-5XYZRxRy
Verfahrweg[mm] ± 2± 2± 2
Kippwinkel[deg]± 1.5± 1.5
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.5± 0.5± 0.5± 1.3± 1.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2± 2± 2± 5.2± 5.2
Auflösung[µm]0.0070.0070.0070.007
Kleinster Stellschritt[µm]± 0.07± 0.07± 0.07± 0.18± 0.18
Spitzengeschwindigkeit[mm/s]0.50.50.50.40.4
Max. Last[N]20
Außendurchmesser[mm]200
Innendurchmesser[mm]45
Höhe in Mittellage[mm]95
Gewicht[kg]3.6

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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