KT600-EDLM
Kreuztische
XY Präzisions-Kreuztisch mit 450 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 30 kg Last
Präzisionsgigant mit höchster Wiederholbarkeit
Dieser große Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet. Ein eisenloser elektrodynamischer Linearmotor sorgt für hohe Dynamik.
Durch die auf die unterschiedlichen bewegten Massen abgestimmten Motoren in X und Y ist ein homogenes dynamisches Verhalten gegeben. Der Tisch verhält sich in beiden Achsen gleich.
Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung
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Anwendungsfelder
Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische
Modell KT600 | -450-EDLM-L | |
Verfahrweg | [mm] | 450 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.2 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.3 |
Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 4.8 |
Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 13 |
Geradheitsabweichung | [μm] | ± 2.5 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 330 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 500 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 3 |
Max. Last Fx | [N] | 25 |
Max. Last Fy | [N] | 25 |
Max. Last Fz | [N] | 300 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 32 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 32 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 30 |
Nicken | [µrad] | ± 110 |
Gieren | [µrad] | ± 110 |
Länge | [mm] | 600 |
Breite | [mm] | 600 |
Höhe | [mm] | 110 |
Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor | |
Feedback | Linearmesssystem, Linear Scale |
Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen
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